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    • 2. 发明专利
    • Electrochemical system
    • 电化学系统
    • JP2014126532A
    • 2014-07-07
    • JP2012285550
    • 2012-12-27
    • Waseda Univ学校法人早稲田大学
    • AISAKA TETSUYAKADOMA SATOYUKIYOKOSHIMA TOKIHIKOMUKOYAMA DAIKICHINARA HIROKI
    • G01R27/02H01M10/48H02J7/00
    • G01R23/16G01N27/28G01N27/4161G01R31/3662H01M10/48
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrochemical system 1 having a simple configuration capable of obtaining impedance characteristics of an electrochemical cell 10.SOLUTION: An electrochemical system 1 includes: an electrochemical cell 10 having a plurality of electrodes 11 to 13 and an electrolyte 14; a power controller 20 that generates the rectangular wave signal of a first frequency f1 to apply it to the electrochemical cell 10; a Fourier transformation part 30 that performs Fourier transformation of the response signal of the electrochemical cell 10 to the rectangular wave signal to calculate frequency characteristics including the component of a second frequency f2 that is integral multiple of the first frequency f1; and a calculation part 40 that calculates the impedance characteristics of the electrochemical cell 10 on the basis of the frequency characteristics calculated by the Fourier transformation part 30.
    • 要解决的问题:提供具有能够获得电化学电池10的阻抗特性的简单配置的电化学系统1.解决方案:电化学系统1包括:具有多个电极11至13和电解质14的电化学电池10 ; 功率控制器20,其生成第一频率f1的矩形波信号以将其施加到电化学电池10; 傅里叶变换部30,对电化学电池单元10的响应信号进行矩形波信号的傅里叶变换,计算包含第一频率f1的整数倍的第二频率f2的分量的频率特性; 以及计算部40,其基于由傅里叶变换部30计算的频率特性来计算电化学电池10的阻抗特性。
    • 6. 发明专利
    • 改質水防錆効果判定装置及び改質水防錆効果判定方法
    • 重整防水防锈效果确定单元和重整洪水防锈效果判断方法
    • JP5780539B1
    • 2015-09-16
    • JP2014558334
    • 2014-05-30
    • 都市拡業株式会社
    • 田尻 惠保石川 光男根本 邦男神谷 信行
    • G01N27/26
    • G01N27/416G01N27/30G01N27/4161G01N33/18C02F1/30
    • 水の防錆性が向上したことを、短時間で簡便に判定できる改質水防錆効果判定装置及び改質水防錆効果判定方法を提供する。 アノード電極、一対のカソード電極、アノード電極と一方のカソード電極との間に電流を通電する第1電流発生装置、アノード電極と他方のカソード電極との間に電流を通電する第2電流発生装置、一対のカソード電極に流れる電流の大きさを定期的に変える電流切替装置、及び一方のカソード電極と他方のカソード電極との間における電位差を計測し出力信号を出力する計測出力手段を備えてなる第1電位差測定装置と第2電位差測定装置とを有し、第1電位差測定装置によって出力される出力信号Aと、第2電位差測定装置によって出力される出力信号Bとに基づいて、処理水の防錆効果を判定する判定手段を有することを特徴とする。
    • 的水锈被改进,以提供经修改的防水防锈效果确定单元,并且可以在短时间内简单地确定重整洪水防锈效果判断方法。 阳极电极,第一电流产生器,用于在一对阴极电极,阳极和一个阴极电极之间提供电流,第二电流发生器,用于提供在阳极电极和另一方的阴极电极之间的电流, 所述变包括测量输出装置,用于输出周期性地改变流过阴极电极的电流的大小的电流对开关装置之间的测量差值的输出信号,与所述阴极电极的一方和另一方的阴极电极 它有一个电位设备和所述第二电势差测量装置,该输出信号由所述第一电势差测量装置的输出,基于由所述第二电势差测量装置,处理后的水的证明的输出信号B输出 它的特征在于具有防锈效果的确定装置。
    • 7. 发明专利
    • Substrate processing apparatus
    • 基板加工设备
    • JP2013206946A
    • 2013-10-07
    • JP2012071556
    • 2012-03-27
    • Dainippon Screen Mfg Co Ltd大日本スクリーン製造株式会社
    • TAKAHASHI TOMOHIROARAKI HIROYUKI
    • H01L21/306
    • G01N15/0656C01B25/18C09K13/04C11D7/08C11D11/0047G01N27/4161H01L21/30604H01L21/31111H01L21/67057H01L21/67086
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate processing apparatus capable of precisely measuring a silicon concentration in a phosphoric acid solution.SOLUTION: A substrate processing apparatus includes: a circulation line 3 which includes a processing tank 11 reserving a phosphoric acid solution, a circulation pump 13 sending the phosphoric acid solution, a heater 15 for circulation heating the phosphoric acid solution, and a filter 17 filtering the phosphoric acid solution, supplies the phosphoric acid solution discharged from the processing tank 11 in the order of the circulation pump 13, heater 15 for circulation, and filter 17, and returns the phosphoric acid solution from the filter 17 to the processing tank 11; a branch pipe 31 which branches off from the circulation line 3 between the heater 15 for circulation and filter 17, and extracts the phosphoric acid solution from the circulation line 3; and a concentration measuring section 51 which is connected to communicate with the branch pipe 31, and measures the silicon concentration in the phosphoric acid solution by a potential difference measuring method.
    • 要解决的问题:提供能够精确测量磷酸溶液中的硅浓度的基板处理装置。解决方案:基板处理装置包括:循环管线3,其包括储存磷酸溶液的处理槽11,循环 泵13送出磷酸溶液,用于循环加热磷酸溶液的加热器15和过滤磷酸溶液的过滤器17,以循环泵13的顺序供给从处理槽11排出的磷酸溶液,加热器 15,用于过滤器17,并将磷酸溶液从过滤器17返回到处理槽11; 在循环用加热器15和过滤器17之间从循环管线3分支并从循环管线3提取磷酸溶液的分支管31; 以及与分支管31连通的浓度测定部51,通过电位差测定法测定磷酸溶液中的硅浓度。