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    • 1. 发明专利
    • 加工装置、加工方法、および部品の製造方法
    • 处理装置,处理方法和组件的制造方法
    • JP2016150415A
    • 2016-08-22
    • JP2015029373
    • 2015-02-18
    • 国立大学法人大阪大学キヤノン株式会社
    • 宮内 裕樹安藤 学定國 峻山内 和人
    • C03C19/00B24B13/02
    • B23K20/02B24B13/06B24B49/006B24B49/16C03C15/02
    • 【課題】触媒支援型加工法における加工量ないし加工速度を精度よく予測する。 【解決手段】加工面3が、被加工面の加水分解を支援する遷移金属を含む触媒物質により構成された工具2と、被加工物1とを、加工液4の水分子を介在させた状態で加工圧力で圧接した状態で相対的に運動させる。その加工の際、制御部により加工面3と被加工面11を相対的に運動させる相対速度または加工圧力を管理する加工制御を行う。その際、第1の定数、加工圧力、および相対速度の積からなる項と、第2の定数、および相対速度の三乗との積からなる項の差分によって表わされる加工速度の推定式によって被加工面11の加工速度を推定する。そして、推定された加工速度に基づき加工面と被加工面を相対的に運動させる相対速度または加工圧力を管理する。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:精确地估计催化剂载体型加工方法中的加工量或加工速度。解决方案:工具2,其加工表面3由含有过渡金属的催化剂物质组成, 并且处理对象物1在被处理液4的水分子插入的状态下被相对移动而相互压力接触。 在处理时,执行用于管理处理表面3和待处理表面11通过控制单元相对移动的相对速度或处理压力的处理控制。 其中,通过由由第一常数,处理压力和相对速度的乘积构成的构件之间的差表示的估计方程和由以下乘积构成的构件构成的构件来估计要处理的表面11的处理速度: 第二个常数和相对速度的立方体。 此外,管理基于所估计的处理速度来处理表面和待处理表面相对移动的相对速度或处理压力。图5:图5