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    • 10. 发明专利
    • 電子部品の製造方法
    • JP2021044291A
    • 2021-03-18
    • JP2019163078
    • 2019-09-06
    • TDK株式会社
    • 石間 雄也近藤 真一伊藤 光祐服部 慎吾
    • H01F17/00H05K1/16H01F41/04
    • 【課題】電子部品の変形を更に抑制可能な電子部品の製造方法を提供する。 【解決手段】電子部品の製造方法は、複数の絶縁体層を積層することにより、積層方向と交差する方向に分割部を介して配列された複数の積層体を備える積層体基板を形成する工程S1と、分割部を除去することにより、複数の積層体を個片化する工程S2と、を含む。工程S1は、基材上に絶縁体層の構成材料である絶縁性材料を含む絶縁体レジスト層を形成する工程と、分割部に対応する絶縁体レジスト部分を少なくとも除いて、絶縁体レジスト層を露光により硬化させ、絶縁体層を形成する工程と、を含む。工程S1では、絶縁体レジスト層を形成する工程と、絶縁体層を形成する工程とを基材上で繰り返すことによって積層体基板を形成する。工程S2では、絶縁体レジスト部分を含んで構成される分割部を現像により除去する。 【選択図】図5