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    • 1. 发明专利
    • 絶対変位センサ
    • JP2016003934A
    • 2016-01-12
    • JP2014123844
    • 2014-06-16
    • SEDO KAZUTOOILES INDUSTRY CO LTD
    • SEDO KAZUTOIWASAKI YUICHI
    • G01H1/00G01B7/00G01V1/00
    • 【課題】極低振動数領域までの位相の進みを少なくできて固有振動数を低下させることができ、長周期振動でも絶対変位を検出し得る絶対変位センサを提供する。【解決手段】絶対変位センサ1は、質量体2と、センサハウジング4と、検出手段5と、質量体2及びばね3で決定される固有振動数よりも高い高振動数成分を抑制する一方、固有振動数よりも低い低振動数成分を通過させる伝達特性を有するローパスフィルタ8と、ローパスフィルタ8から出力された相対変位をポジティブに、相対速度及び相対加速度の夫々をネガティブに夫々フィードバックさせて、センサハウジング4の絶対変位に起因する質量体2の絶対変位を抑制制御するフィードバック制御手段9と、フィードバック制御手段9からの積分して得られた相対変位に所要の振動数領域で3次の位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段10とを具備する。【選択図】図1
    • 2. 发明专利
    • 絶対変位センサ
    • JP2016003936A
    • 2016-01-12
    • JP2014123851
    • 2014-06-16
    • SEDO KAZUTOOILES INDUSTRY CO LTD
    • SEDO KAZUTOIWASAKI YUICHI
    • G01B7/00G01B21/00G01H1/00
    • 【課題】相対加速度のフィードバックゲインを大きくしても、固有振動数を安定に低下させることができ、長周期振動でも絶対変位を検出し得る絶対変位センサを提供する。【解決手段】絶対変位センサ1は、質量体2と、ばね3を介して質量体2を支持するセンサハウジング4と、質量体2に対するセンサハウジング4の変位における相対速度を検出する検出手段5と、質量体2及びばね3で決定される固有振動数よりも高い高振動数成分を抑制する一方、固有振動数よりも低い低振動数成分を通過させるローパスフィルタ8と、ローパスフィルタ8から出力された相対変位をポジティブに、相対速度及び相対加速度の夫々をネガティブに夫々フィードバックさせて、質量体2の絶対変位を抑制制御するフィードバック制御手段9と、フィードバック制御手段9からの積分して得られた相対変位に所要の振動数領域で3次の位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段10とを具備している。【選択図】図1
    • 3. 发明专利
    • 絶対変位センサ
    • JP2016003933A
    • 2016-01-12
    • JP2014123841
    • 2014-06-16
    • SEDO KAZUTOOILES INDUSTRY CO LTD
    • SEDO KAZUTOIWASAKI YUICHI
    • G01B7/00G01B21/00G01H1/00
    • 【課題】相対加速度のフィードバックゲインを大きくしても、固有振動数を低下させることができ、長周期振動でも絶対変位を検出し得る絶対変位センサを提供する。【解決手段】絶対変位センサ1は、質量体2と、ばね3を介して質量体2を支持するセンサハウジング4と、質量体2に対するセンサハウジング4の変位における相対速度を検出する検出手段5と、質量体2及びばね3で決定される固有振動数よりも高い高振動数成分を抑制する一方、固有振動数よりも低い低振動数成分を通過させるローパスフィルタ8と、ローパスフィルタ8から出力された相対変位をポジティブに、相対速度及相対加速度の夫々をネガティブに夫々フィードバックさせて、質量体2の絶対変位を抑制制御するフィードバック制御手段9と、フィードバック制御手段9からの積分して得られた相対変位に所要の振動数領域で3次の位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段10とを具備している。【選択図】図1