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1. 发明专利

JP2014081188A Low-pollution combustion method using co, nox individual control method 有权
标题翻译：使用CO，NOX个体控制方法的低污染燃烧方法
公开(公告)号：JP2014081188A
公开(公告)日：2014-05-08
申请号：JP2012271970
申请日：2012-12-13
申请人： Global Standard Technology Co Ltd , グローバルスタンダードテクノロジーカンパニーリミテッド
发明人： KIM JEONG CHEOL , CHUNG JONG KOOK , LEE SUNG WOOK , KIM SUN HO , KANG SUK HO , ROH WAN-GI
IPC分类号： F23G7/06
CPC分类号： F23G7/065 , F23G7/06
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a combustion method of exhaust gas generated in a semiconductor manufacturing process or the like, capable of reducing CO, NOx.SOLUTION: A low-pollution combustion method includes: an exhaust gas inflow and flame injection step of causing exhaust gas to flow into a primary combustion region, igniting fuel gas made by preliminarily mixing combustible gas and a combustion-assisting gas and generating flame; a first exhaust gas combustion step of causing exhaust gas to contact with flame generated by igniting the combustion gas made by preliminarily mixing combustible gas to combust the exhaust gas in the primary combustion region; a second exhaust gas combustion step of combusting an unburned components (CO, CH) remaining in the exhaust gas moved to a secondary combustion region through the first exhaust gas combustion step together with the combustion-assisting gas to induce perfect combustion; and a third exhaust gas combustion step.
摘要翻译：要解决的问题：提供能够减少CO，NOx的半导体制造工艺等中产生的废气的燃烧方法。低污染燃烧方法包括：排气进入和火焰喷射步骤，引起废气流入初级燃烧区域，点燃通过预先混合可燃性气体和助燃气体产生火焰产生的燃料气体; 第一废气燃烧步骤，使废气与通过预先混合可燃气体而制造的燃烧气体产生的火焰接触，以燃烧所述主燃烧区域中的废气; 第二废气燃烧步骤，通过第一废气燃烧步骤与辅助燃料一起燃烧残留在排出的废气中的未燃烧组分（CO，CH），以引起完全燃烧; 和第三废气燃烧步骤。

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