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    • 9. 发明专利
    • 永久膜用感光性組成物、レジスト材料、塗膜、及び永久膜用感光性組成物の製造方法
    • 用于光敏组合物的永久膜,抗蚀剂材料,该涂层膜的制造方法,以及用于感光性组合物的永久膜
    • JP5907316B1
    • 2016-04-26
    • JP2015543618
    • 2015-05-19
    • DIC株式会社
    • 今田 知之木本 誠二佐藤 勇介
    • G03F7/004G03F7/023
    • G03F7/023
    • 本発明は、光感度、解像度、耐熱性、及び耐吸湿性に優れており、かつ高温環境下において汚染が生じ難い、永久膜の材料として好適な感光性組成物等を提供することを目的として、一般式(1)で表される構造部位(I)を繰り返し単位として有しており、一般式(2)で表されるヒドロキシナフタレン類(A)の含有量が樹脂固形分換算で2質量%以下であるヒドロキシナフタレンノボラック樹脂を含有し、硬化剤を含有していない、又は前記樹脂100質量部に対して50質量部以下の硬化剤を含有する永久膜用感光性組成物を提供する[式中、R 1 は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、又はハロゲン原子を表し、複数存在するR 1 は互いに同一でも異なっていてもよく、R 2 は水素原子、アルキル基、又はアリール基を表し、pは1又は2を、qは4又は5を表す。但し、pとqの和は6である。]。
    • 本发明中,光敏度,分辨率,耐热性,与吸收电阻具有优异的水分和几乎不发生污染在高温环境中,用于提供合适的光敏组合物等作为永久膜的材料的目的 式具有如在通式的树脂固体基础羟基萘(1),2重量含量表示的重复单元结构部位(I)(2)(a)中 %含有在低于其羟基的酚醛清漆树脂,不含有固化剂,或者为含有50质量份或更小,固化剂与树脂100质量份[光敏组合物提供一种永久膜 其中,R 1是氢原子,烷基,烷氧基,芳基,芳烷基,或卤素原子,或多个本不同R1彼此相同,R 2是氢原子,烷基,或芳 表示基团,p A是1或2 q表示4或5。 但是,p和q的总和为6。 ]。