专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP6940413B2 検査装置及び検査方法有权
公开(公告)号：JP6940413B2
公开(公告)日：2021-09-29
申请号：JP2017553754
申请日：2016-11-15
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則
IPC分类号： G01N21/956 , G01N27/82

2. 发明专利

JP2021067833A 固浸レンズユニット及び半導体検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021067833A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2019193496
申请日：2019-10-24
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 荒田育男 , 毛祥光
IPC分类号： G02B21/02 , G02B7/02 , G02B21/00
摘要：【課題】短波長の光を用いた観察を可能としつつ、固浸レンズの視野を確保することができる固浸レンズユニット及び半導体検査装置を提供する。【解決手段】固浸レンズユニット1は、固浸レンズ2と、固浸レンズ2を揺動可能に保持するホルダと、を備える。固浸レンズ2は、第1材料により形成された第1レンズ部21と、第1材料の屈折率よりも小さな屈折率を有する第2材料により形成され、第1レンズ部21に結合された第2レンズ部22と、を有する。第1レンズ部21は、観察対象物に当接させられる当接面21aと、凸状の第1球面21cと、を含む。第2レンズ部22は、第1球面21cと向かい合う凹状の第2球面22aと、対物レンズと向かい合うように配置される凸状の第3球面22cと、を含む。ホルダは、第3球面22cと接触可能に構成された球体6を有している。【選択図】図6

3. 发明专利

JP2020106361A 冷却ユニット、対物レンズモジュール、半導体検査装置、半導体検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020106361A
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：JP2018244316
申请日：2018-12-27
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 野中大敬 , 松浦浩幸 , 寺田浩敏
IPC分类号： H01L23/473 , G01R31/26 , G01R31/302
摘要：【課題】冷却性能が高められた冷却ユニット及び対物レンズモジュール、そのような冷却ユニットを備える半導体検査装置、並びに、半導体デバイスを好適に冷却しつつ検査することができる半導体検査方法を提供する。【解決手段】冷却ユニット21は、半導体デバイス2の検査において用いられる冷却ユニットであって、半導体デバイス2の熱を放熱するためのジャケット31を備える。ジャケット31には、半導体デバイス2からの光を通過させる開口32が設けられている。ジャケット31は、開口32が半導体デバイス2と向かい合う状態において、半導体デバイス2と向かい合って半導体デバイス2との間に空間S1を画定する空間画定面を有する。ジャケット31には、空間S1に供給される流体5が流れる供給流路51が設けられている。【選択図】図7

4. 发明专利

JP2019145553A キャリア寿命測定方法及びキャリア寿命測定装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019145553A
公开(公告)日：2019-08-29
申请号：JP2018025799
申请日：2018-02-16
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則
IPC分类号： G01N21/00 , H01L21/66
摘要：【課題】測定対象物におけるキャリア寿命を精度良く測定すること。【解決手段】測定対象物におけるキャリア寿命を計測するキャリア寿命測定方法であって、測定対象物であるDUT10に向けて、計測光と、複数の周波数で強度変調された刺激光とを照射する照射ステップと、DUT10からの反射光あるいは透過光の強度を検出して検出信号を出力する出力ステップと、複数の周波数のうちの計測対象領域の不純物濃度に対応する周波数を含む変調信号に対する検出信号の位相遅れを検出し、位相遅れを基にDUT10におけるキャリア寿命の分布を示す画像データを生成する生成ステップと、を備える。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6283507B2 半導体デバイス計測装置及び半導体デバイス計測方法有权
公开(公告)号：JP6283507B2
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：JP2013247143
申请日：2013-11-29
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：大高章弘 , 西沢充哲 , 平井伸幸 , 中村共則
IPC分类号： G01R31/302
CPC分类号： G01R31/311

6. 发明专利

JP6000546B2 顕微観察用光学装置有权
标题翻译：显微观察光学系统
公开(公告)号：JP6000546B2
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：JP2011286218
申请日：2011-12-27
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 荒田育男 , 伊藤能弘
IPC分类号： G02B13/24 , G02B7/02
CPC分类号： G02B21/361 , G02B21/0004 , G02B21/0016 , G02B21/04 , G02B21/16 , G02B21/248 , G02B27/0018 , G02B5/006

7. 发明专利

JP5894745B2 集積回路検査装置有权
标题翻译：集成电路测试装置
公开(公告)号：JP5894745B2
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2011121893
申请日：2011-05-31
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 平井伸幸
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/302
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/55 , G01N21/88 , G01R31/2851 , H01L22/12

8. 发明专利

JP2015145883A 半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法审中-公开
标题翻译：半导体器件检测器件和半导体器件检测方法
公开(公告)号：JP2015145883A
公开(公告)日：2015-08-13
申请号：JP2015094299
申请日：2015-05-01
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 西沢充哲
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/302
CPC分类号： G01R31/311 , G01N21/9501 , G01R23/16 , G01R31/2656 , H01L22/12 , G01N2201/12
摘要：【課題】半導体デバイスの検査を精度良く実施すること。【解決手段】半導体デバイス検査装置1は、レーザ光源2と、テスト信号を印加するテスタ22と、検出信号を出力する光センサ10と、第1の位相情報を計測するスペクトラムアナライザ13と、リファレンス信号を生成するリファレンス信号生成部26と、リファレンス信号の位相情報である第2の位相情報を計測するスペクトラムアナライザ14と、第1の位相情報及び第2の位相情報に基づいて、所定の周波数における検出信号の位相情報を導出する解析部33と、を備え、スペクトラムアナライザ13は、基準周波数に対する第1の位相情報を計測し、スペクトラムアナライザ14は、基準周波数に対する第2の位相情報を計測し、スペクトラムアナライザ13の基準信号の周波数とその位相と、スペクトラムアナライザ14の基準信号の周波数とその位相が同期している。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：以高精度检查半导体器件。解决方案：半导体器件检查装置1包括：激光源2; 用于施加测试信号的测试器22; 用于输出检测信号的光电传感器10; 用于测量第一相位信息的频谱分析器13; 用于产生参考信号的参考信号产生单元26; 用于测量作为参考信号的相位信息的第二相位信息的频谱分析器14; 以及分析单元33，用于基于第一相位信息和第二相位信息导出以规定频率的检测信号的相位信息。频谱分析器13测量相对于参考频率的第一相位信息，并且频谱分析器14测量相对于参考频率的第二相位信息，频谱分析仪13的参考信号的频率和相位以及频率和相位的频率和相位频谱分析仪14的参考信号彼此同步。

9. 发明专利

JP2021129120A 検査装置及び検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021129120A
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2021092781
申请日：2021-06-02
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 池村賢一郎
IPC分类号： G01M11/00 , H01L21/66
摘要：【課題】発光素子の良否判定を高精度に行うこと。【解決手段】検査装置1は、基板上に複数の発光素子が形成されたサンプルSを検査する検査装置であって、発光素子に照射される励起光を生成する光源部20と、励起光が照射された発光素子の発光を検出するカメラ81,82と、発光素子の発光色に関する情報の入力を受け付けるキーボード120と、キーボード120によって受付けられた発光色に関する情報に基づいて励起光の波長を決定し、該波長の励起光が生成されるように光源部20を制御する制御装置100と、を備え、制御装置100は、サンプルSの基板の吸収端波長よりも長く、且つ、発光色に関する情報から特定される発光素子の発光スペクトルのピーク波長よりも短い波長を、励起光の波長に決定する。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2021113712A 検査装置及び検査方法有权
公开(公告)号：JP2021113712A
公开(公告)日：2021-08-05
申请号：JP2020005830
申请日：2020-01-17
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：中村共則 , 池村賢一郎
IPC分类号： G01M11/00 , G01N21/64
摘要：【課題】発光素子の良否判定を高精度に行うこと。【解決手段】検査装置1は、基板上に複数の発光素子が形成されたサンプルSを検査する検査装置であって、発光素子に照射される励起光を生成する光源部20と、励起光が照射された発光素子の発光を検出するカメラ81,82と、発光素子の発光色に関する情報の入力を受け付けるキーボード120と、キーボード120によって受付けられた発光色に関する情報に基づいて励起光の波長を決定し、該波長の励起光が生成されるように光源部20を制御する制御装置100と、を備え、制御装置100は、サンプルSの基板の吸収端波長よりも長く、且つ、発光色に関する情報から特定される発光素子の発光スペクトルのピーク波長よりも短い波長を、励起光の波長に決定する。【選択図】図1

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式