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    • 1. 发明专利
    • 静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく3次元標準振動台
    • JP2018504580A
    • 2018-02-15
    • JP2017525104
    • 2015-08-18
    • 浙江大学Zhejiang University
    • 何 聞張 旭飛賈 叔仕周 杰
    • G01M7/06B06B1/02F16C32/06
    • G01M7/06
    • 静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく3次元標準振動台であって、ベース(1)を含み、ベース(1)にはX軸方向の振動台(2)及びX軸方向の復帰装置(6)と、Y軸方向の振動台(3)及びY軸方向の復帰装置(7)と、Z軸方向の振動台(4)と、三次元の振動プラットフォーム(5)とが設けられている。X軸方向の振動台(2)は、三次元の振動プラットフォーム(5)を介してX軸方向の復帰装置(6)に対向し、Y軸方向の振動台(3)は、三次元の振動プラットフォーム(5)を介してY軸方向の復帰装置(7)に対向する。X軸方向の振動台(2)とY軸方向の振動台(3)とは、それぞれの振動台側静圧型ガスフローティング板(21)にそれぞれ固定し、振動台側静圧型ガスフローティング板(21)と三次元の振動プラットフォーム(5)との間にはガス膜を形成することができる隙間を有する。X軸方向の復帰装置(6)とY軸方向の復帰装置(7)とは、それぞれの復帰ばね(61)とばね側静圧型ガスフローティング板(62)からなる。Z軸方向の振動台(4)とZ軸方向のガスフローティングデカップリング装置(41)とは、固定し、Z軸方向のガスフローティングデカップリング装置(41)と三次元の振動プラットフォーム(5)との間にはガス膜を形成することができる隙間を有する。【選択図】図1