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1. 发明专利

JP6508674B2 流量校正装置有权
公开(公告)号：JP6508674B2
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：JP2015038058
申请日：2015-02-27
申请人：株式会社TI , 株式会社フジキン , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：高橋善和 , 川崎正登 , 藤本良平 , 平尾圭志 , 皆見幸男 , 吉田肇
IPC分类号： G01M3/02

2. 发明专利

JP2016161315A 流量校正装置有权
标题翻译：流量校准装置
公开(公告)号：JP2016161315A
公开(公告)日：2016-09-05
申请号：JP2015038058
申请日：2015-02-27
申请人：株式会社TI , 株式会社フジキン , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：高橋善和 , 川崎正登 , 藤本良平 , 平尾圭志 , 皆見幸男 , 吉田肇
IPC分类号： G01M3/02
摘要：【課題】微量なガス流量を計測対象とした計測器の校正を高精度で安定的かつ効率的に実施可能な流量校正装置を提供する。【解決手段】流量校正装置は、少なくとも、流出するガスを分子流とすることが可能とされるコンダクタンス部4と、導入されるガスをコンダクタンス部4に流送する上流部2と、コンダクタンス部を通過して流出するガスが導入される下流部3とを備え、下流部3は、下流部3内に導入されるガスの流量を計測する被校正対象の計測部8a、8bを有し、上流部2は、上流部2内の圧力を計測する上流側真空計6と、上流部2内の設定圧力値に対し上流側真空計6から出力される圧力値が等しくなるように流量を電磁弁により制御してガスを上流部2内に導入する圧力制御部5とを有する。【選択図】図1(a)
摘要翻译：要解决的问题：提供一种流量校准装置，通过该流量校准装置，可以高精度地稳定高效地执行设计成测量微小气体流量的测量仪器的校准。解决方案：流量校准装置包括：能够至少将流出气体转换为分子流的电导单元4，将导入气体流入导电单元4的上游单元2和通过导电单元的气体流出的下游单元3 介绍。下游单元3具有测量单元8a，8b，该测量单元测量导入下游单元3的气体的流量。上游单元2具有用于测量上游单元2内的压力的上游侧真空计6，以及用于通过电磁阀控制流量的压力控制单元5，使得从上游侧真空计6输出的压力值等于上游单元2内的设定压力值，并将气体引入上游单元2 图1（a）

3. 发明专利

JP2016194366A サイクルパージユニット审中-公开
标题翻译：循环泵单元
公开(公告)号：JP2016194366A
公开(公告)日：2016-11-17
申请号：JP2016069984
申请日：2016-03-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：藤本良平 , 皆見幸男
IPC分类号： F17D1/04
摘要：【課題】携帯可能であり、簡単にサイクルパージを行うことが可能なサイクルパージユニットを提供する。【解決手段】バキュームジェネレータ2の排気側下流に設けられたエア弁16と、接続ライン5の圧力値に応じてエア弁16を開閉する自動開閉弁開閉装置6とを備えている。自動開閉弁開閉装置6によってエア弁16を開とすることで真空引き工程が実施され、自動開閉弁開閉装置6によってエア弁16を閉とすることで加圧工程が実施される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够简单地移动并执行循环净化的循环净化单元。解决方案：循环净化单元包括：设置在真空发生器2的排气侧下游的空气阀16; 以及用于根据连接线5的压力值打开和关闭空气阀16的自动切换阀开关装置6.通过自动切换阀开关装置6打开空气阀16和压缩通过自动切换阀开关装置关闭空气阀16执行步骤。选择的图示：图1

4. 发明专利

JP6684626B2 サイクルパージユニット有权
公开(公告)号：JP6684626B2
公开(公告)日：2020-04-22
申请号：JP2016069984
申请日：2016-03-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：藤本良平 , 皆見幸男
IPC分类号： F17D1/04

5. 发明专利

JPWO2019031303A1 流体供給装置および流体供給方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019031303A1
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：JP2018028601
申请日：2018-07-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：吉田俊英 , 皆見幸男 , 篠原努
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】超臨界流体を安定的に供給可能な流体供給装置および流体供給方法を提供する。【解決手段】超臨界流体へ変化させる前の液体状態の流体を処理室に向けて供給する流体供給装置であって、気体状態の流体を凝縮液化するコンデンサ130と、コンデンサ130により凝縮液化された流体を貯留するタンク140と、タンク140に貯留された液化された流体を処理室500へ向けて圧送するポンプ150と、ポンプ150の吐出側と連通する流路に設けられ、当該流路内の液体を部分的に超臨界流体にするための加熱手段20と、を有する。【選択図】図1A

6. 发明专利

JP2016050614A バルブ审中-公开
标题翻译：阀
公开(公告)号：JP2016050614A
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：JP2014175681
申请日：2014-08-29
申请人：株式会社フジキン
发明人：小豆澤翔 , 皆見幸男
IPC分类号： F16K35/16 , F16K37/00
摘要：【課題】確実に誤操作を防止可能なバルブを提供する。【解決手段】ロック装置は、ステム、流体通路が開状態となる位置、および、流体通路が閉状態となる位置でロック可能であり、かつ、そのロックを解除可能に構成され、マイクは、作業者により流体通路の開閉操作を示す入力を受け付け可能に構成されている。そして、制御部は、S2で確認した現在のバルブの開閉状態が、S1におけるバルブの開閉操作を示す入力に対して逆の状態であるか否かを判断し、逆の状態である場合に、ロック装置のロック部によるステムに対するロックを解除させる。【選択図】図5
摘要翻译：要解决的问题：提供能够积极地防止任何错误操作的阀。解决方案：锁定装置可以锁定在杆和流体通道变为打开状态的位置处，并且在流体通道变为闭合的位置状态，其锁定状态可以释放。麦克风被构造成使得指示用于流体通道的打开或关闭操作的输入可由操作者接收。然后，控制部确定在S2中确认的当前的打开或关闭状态是否处于与S1相关的指示阀的打开或关闭操作的输入的相反的状态，在发生反转的情况下，控制部分通过锁定装置的锁定部分释放锁定状态。选择的图示：图5

7. 发明专利

JP5837733B2 水分発生用反応炉有权
公开(公告)号：JP5837733B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2009107139
申请日：2009-04-24
申请人：国立大学法人東北大学 , 株式会社フジキン
发明人：大見忠弘 , 川田幸司 , 池田信一 , 森本明弘 , 皆見幸男 , 平尾圭志 , 坂本信治 , 北野真史
IPC分类号： B01J23/42 , C01B5/00
CPC分类号： B01J23/63 , B01J12/007 , B01J37/0244 , C01B5/00 , B01J23/42 , B01J35/023 , B01J37/0225

8. 发明专利

JPWO2019031301A1 流体供給装置および流体供給方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019031301A1
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：JP2018028592
申请日：2018-07-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：吉田俊英 , 皆見幸男 , 篠原努
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】超臨界流体を安定的に供給可能な流体供給装置および流体供給方法を提供する。【解決手段】超臨界流体へ変化させる前の液体状態の流体を処理室500に向けて供給する流体供給装置1であって、気体状態の二酸化炭素を凝縮液化するコンデンサ130と、コンデンサ130により凝縮液化された流体を貯留するタンク140と、タンク140に貯留された液化された二酸化炭素を処理室500へ向けて圧送するポンプ150と、ポンプ150の吐出側と連通する流路2に設けられ、ポンプ150から吐出される液体の周期的な圧力変動を抑制するダンパ部10を有し、ダンパ部10は、両端部が所定の位置に固定され、かつ、ポンプ150から吐出される液体が流通するスパイラル状に形成されたスパイラル管20を有する。【選択図】図1A

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