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    • 1. 发明专利
    • 放射線検出器および放射線検出装置
    • 辐射检测器和辐射检测装置
    • JP2015061041A
    • 2015-03-30
    • JP2013195677
    • 2013-09-20
    • 株式会社東芝Toshiba Corp
    • YAGI HITOSHIHASEGAWA TSUTOMUATSUTA MASAMIHOSONO YASUHARUSASAKI KEITAKAWADA TAKESHI
    • H01L31/08G01T1/20H01L27/144H01L27/146H01L31/107H04N5/32H04N5/369
    • H01L27/14663H01L27/1463H01L27/14636H01L31/0224
    • 【課題】TSV絶縁膜の絶縁耐圧を向上させることのできる放射線検出器および放射線検出装置を提供する。【解決手段】半導体基板12から層間絶縁膜28を通る第1開口40と、層間絶縁膜28と第2絶縁膜36との間に設けられ光検出部22に接続された配線30と、第1開口40の底面、側面および半導体基板12の第2面の一部に設けられ、第1開口40の底部を通じて配線30に接続する第1電極44aと、半導体基板12の前記第2面に設けられた第2電極44bと、半導体基板12に設けられ第1電極44aを取り囲み、第2電極44bは取り囲まない位置に設けられた第2開口46と、半導体基板12の前記第2面において第1電極44a、第2電極44b、第1開口40および第2開口50bを覆い、第1電極44aに通じる第3開口50aおよび第2電極44bに通じる第4開口50bが設けられた絶縁性の樹脂層50と、を備える。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种放射线检测器和放射线检测装置,其中每个都可以提高TSV(通硅通孔)绝缘膜的介电电压。解决方案:辐射检测器包括:穿透第一开口40 从半导体基板12到层间绝缘膜28; 设置在层间绝缘膜28和第二绝缘膜36之间并与光学检测器22连接的布线30; 第一电极44a,其设置在第一开口40的底面和侧面以及半导体基板12的第二表面的一部分上,并经由第一开口40的底部与布线30连接; 设置在半导体基板12的第二表面上的第二电极44b; 设置在半导体基板12上的第二开口46,设置在围绕第一电极44a而不包围第二电极44b的位置; 以及在半导体衬底12的第二表面上覆盖第一电极44a,第二电极44b,第一开口40和第二开口50b的绝缘树脂层50,并且设置有与第一电极连接的第三开口50a 44a和与第二电极44b连接的第四开口50b。
    • 2. 发明专利
    • Radiation detector
    • 辐射探测器
    • JP2013195295A
    • 2013-09-30
    • JP2012064247
    • 2012-03-21
    • Toshiba Corp株式会社東芝
    • KAWADA TAKESHIFUNAKI HIDEYUKIKWON HONAMUENO RISAKOSUZUKI KAZUHIRO
    • G01T1/20
    • G01T1/2002G01N23/046G01T1/2018G01T1/248
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a radiation detector capable of enhancing detection efficiency of fluorescence emitted from a fluorescent substance.SOLUTION: The radiation detector comprises: a scintillator having a fluorescent substance for converting radiation into visible light; a light detecting element array which includes a plurality of cells including a light detecting element for detecting the visible light emitted from the fluorescent substance of the scintillator and converting it into an electric signal; a plurality of lenses which are provided correspondingly on each of the cells, and makes the visible light incident to the light detecting element of the corresponding cell.
    • 要解决的问题:提供能够提高从荧光物质发出的荧光的检测效率的放射线检测器。解决方案:辐射检测器包括:具有用于将辐射转换成可见光的荧光物质的闪烁体; 光检测元件阵列,其包括多个单元,所述多个单元包括用于检测从所述闪烁体的荧光物质发射的可见光并将其转换为电信号的光检测元件; 多个透镜,其相应地设置在每个单元上,并使可见光入射到相应单元的光检测元件。