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    • 4. 发明专利
    • 渦電流式変位センサ
    • EDDY CURENT型位移传感器
    • JP2016001123A
    • 2016-01-07
    • JP2014120662
    • 2014-06-11
    • 株式会社東海理化電機製作所
    • 古賀 健一水野 善之
    • G01D5/20
    • 【課題】冗長性を有するとともに検出精度の良い渦電流式変位センサを提供する。 【解決手段】渦電流式変位センサ1は、発振コイル12を発振させる発振回路15と、発振コイル22を発振させる発振回路25と、発振コイル12,22の発振によって渦電流が生じるとともに発振コイル12,22に対して変位する金属板30と、金属板30に生じる渦電流に基づいて受信コイル13に生じる誘導電圧の検出を通じて金属板30の位置を検出する検出部16と、金属板30に生じる渦電流に基づいて受信コイル23に生じる誘導電圧の検出を通じて金属板30の位置を検出する検出部26と、を備える。発振コイル22が発振しているとき発振回路15は発振コイル12を発振させず、発振コイル12が発振しているとき発振回路25は発振コイル22を発振させない。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有冗余性和优异的检测精度的涡流型位移传感器。解决方案:涡流型位移传感器1包括:振荡振荡线圈12的振荡电路15; 用于振荡振荡线圈22的振荡电路25; 金属板30,其中通过振荡线圈12,22的振荡产生涡流,并相对于振荡线圈12,22移位; 检测单元16,用于通过基于在金属板30中产生的涡流检测在接收线圈13中产生的感应电压来检测金属板30的位置; 以及检测单元26,用于通过基于在金属板30中产生的涡电流检测在接收线圈23中产生的感应电压来检测金属板30的位置。振荡电路15不振荡振荡 振荡线圈22振荡时振荡电路25不振荡振荡线圈22,