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    • 7. 发明专利
    • 半導体装置
    • JP2020061407A
    • 2020-04-16
    • JP2018190118
    • 2018-10-05
    • 株式会社日立製作所
    • 楠 敏明
    • H01L23/08H01L21/52
    • 【課題】300〜400℃のような高温環境下でも動作可能であり、かつ半導体チップと配線部材との接合信頼性に優れる半導体装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る半導体装置は、セラミックパッケージの中に半導体チップが封入された半導体装置であって、前記セラミックパッケージは、セラミックスケースと配線部材とを有し、前記半導体チップは、SiC半導体チップまたはGaN半導体チップであり、表面電極と裏面電極とを有し、該裏面電極に対面する前記配線部材のダイボンド部と前記裏面電極とが接合層を介して電気的接合されており、前記裏面電極の表面および前記ダイボンド部の表面の少なくとも一方が、Au、AlまたはNiからなり、前記接合層が、Cuナノ粒子とNiナノ粒子とを含む混合金属ナノ粒子の焼結組織を有していることを特徴とする。 【選択図】図1