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    • 4. 发明专利
    • 試料ホルダ、荷電粒子線装置および観察方法
    • 样品座,充电颗粒光束装置和观察方法
    • JP2016031805A
    • 2016-03-07
    • JP2014152939
    • 2014-07-28
    • 株式会社日立製作所
    • 島倉 智一高橋 由夫鹿島 秀夫
    • H01J37/20
    • H01J37/20H01J2237/20214
    • 【課題】観察領域のx軸周り任意角度すなわち−180°から+180°の回転シリーズ像の取得から、y軸周り任意角度すなわち−180°から+180°の回転シリーズ像の取得までの一連の観察を、試料を試料室外に取り出すことなく実施可能な試料ホルダを提供する。 【解決手段】試料ホルダは動力部と動力分離器と回転運動伝達機構と直進運動伝達機構とを備える。動力分離器は動力部の1つの運動を分離して回転運動伝達機構と直進運動伝達機構に分配する。回転運動伝達機構は第2の回転軸周りの回転運動を与える。直進運動伝達機構は第2の回転軸の直進運動を与える。 【選択図】図14
    • 要解决的问题:提供一种可以通过实现观察区域的x轴周围的任何角度的旋转系列图像执行一系列观察的样本保持器,即从-180°至+ 180°直到达到 围绕y轴的任何角度的旋转系列图像,即从-180°到+ 180°,而不从样品室中取出样品。解决方案:样品架具有动力单元,功率分离器,旋转运动 传递机制和平移运动传递机制。 功率分离器分离功率单元的一个运动,并将分离的运动分配到旋转运动传递机构和平移运动传递机构。 旋转运动传递机构绕第二旋转轴线产生旋转运动。 平移运动传递机构给出第二旋转轴的平移运动。选择图:图14
    • 9. 发明专利
    • 透過型電子顕微鏡の分解能検定方法
    • 测量传输电子显微镜分辨率的方法
    • JP2016001576A
    • 2016-01-07
    • JP2014121612
    • 2014-06-12
    • 株式会社日立製作所
    • 高橋 由夫島倉 智一菅原 昭明石 哲也
    • H01J37/26
    • 【課題】透過型電子顕微鏡において、0.1nm未満のTEM装置の分解能性能を、試料影響によって試料直下の電子波の分離構造が得られない場合でも、近接原子カラムを有した試料の原子カラム分離像を取得してTEM装置の点分解能を検定する方法を提供する。 【解決手段】原子間隔が既知の結晶薄膜を評価試料に用い、透過型電子顕微鏡によって該評価試料の近接原子カラム像を取得し、取得した近接原子カラム像に、2次元ラプラス作用素を適用することで、該近接原子カラム像の変換像を求め、変換像の近接原子カラム像が分離されているか判定し、分離されていると判定されたときに、透過型電子顕微鏡は、既知の原子間隔相当の分解能を有すると検定することを特徴とする。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种用于通过获取具有彼此接近的原子柱的样品的原子柱分离图像来测定TEM器件的点分辨率的方法,即使在TEM器件的分辨率性能小于0.1nm的情况下, 由于透射电子显微镜中的样品影响,电子波直接在样品下方的分离结构。解决方案:透射电子显微镜的分辨率的测定方法的特征在于已知的晶体薄膜用于评价 通过透射电子显微镜获取原子间隔的样品,通过透射电子显微镜获得彼此靠近的原子列图像,通过将二维拉普拉斯算子应用于彼此靠近的原子列图像变换的图像,获得 获得彼此靠近的原子列图像,确定为原子列i变换的图像 彼此靠近的法师彼此分离,并且当确定分离时,透射电子显微镜被测定具有与已知原子间隔相当的分辨率。