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1. 发明专利

JP2015129751A 検査方法及びその装置有权
标题翻译：检测方法及其装置
公开(公告)号：JP2015129751A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：JP2014262005
申请日：2014-12-25
申请人：株式会社日立製作所
发明人：酒井薫 , 前田俊二 , 丸山重信
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30
摘要：【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】物体の外観を検査する方法を、検査対象物体5を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体5を撮像して検査対象物体5の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体5の画像を取得しながら検査対象物体5の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体5の表面凹凸情報から検査対象物体5の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体5の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも1つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも1つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种物体的外观检查方法，该方法在复杂形状的物体的外观检查中定量评价在要检测的目视检查中难以检测的形状的缺陷，并提供一种用于外观检查方法的装置。解决方案：一种用于检查物体的外观的方法被构造成：加载检查对象物5; 在至少一个方向上连续移动检查对象物体的同时对检查对象物进行成像; 在获取检查对象物5的表面上的纹理信息的检查对象物5的图像的同时获取检查对象物5的表面不均匀信息; 从所取得的检查对象物5的表面不均匀信息中恢复检查对象物5的三维形状; 从所获取的图像和检查对象物体5的恢复的三维形状获得具有表面纹理的物体的外观信息; 从获得的外观信息中提取多个特征，将多个提取的特征中的至少一个特征与对应于预设参考数据的至少一个特征的特征进行比较; 并且评估作为检查对象的对象的外观。

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