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    • 10. 发明专利
    • アルカリ可溶性樹脂を含むレジスト組成物及びその保存方法
    • 含有碱可溶性树脂的耐腐蚀组合物及其存储方法
    • JP2015184575A
    • 2015-10-22
    • JP2014062484
    • 2014-03-25
    • 株式会社日本触媒
    • 田中 晋介加原 浩二
    • G03F7/038C08F290/12G03F7/004
    • 【課題】アルカリ可溶性樹脂として酸基及び側鎖に第3級炭素原子を含む重合体を含有し、極めて保存安定性に優れるレジスト組成物を提供する。また、安定してレジスト組成物を保存することができる保存方法も提供する。 【解決手段】アルカリ可溶性樹脂及びアルコール系溶媒を含むレジスト組成物であって、該アルコール系溶媒の含有量は、レジスト組成物の総量100質量%に対し、10〜60質量%であり、該アルカリ可溶性樹脂は、酸基及び側鎖に第3級炭素原子を含む重合体であるレジスト組成物。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种抗蚀剂组合物,其包含在侧链中含有酸基和叔碳原子的聚合物作为碱溶性树脂,并且其储存稳定性非常优异,并提供稳定的储存方法 存储抗蚀剂组合物。溶胶:抗蚀剂组合物包含碱溶性树脂和醇溶剂,其中醇溶剂的含量相对于抗蚀剂组合物的总计为100质量%为10〜60质量%,碱为 - 可溶性树脂是在侧链中含有酸基和叔碳原子的聚合物。