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1. 发明专利

JP2009075028A Device for measuring laser beam stabilizing characteristic 审中-公开
标题翻译：用于测量激光束稳定特性的装置
公开(公告)号：JP2009075028A
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：JP2007246389
申请日：2007-09-25
申请人： Shimadzu Corp , 株式会社島津製作所
发明人： OGAMI HIRONORI , NODA NORIHIDE
IPC分类号： G01J1/42 , G01M11/00 , H01S3/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a stabilizing time or the like until a beam shape stabilizes from the rise of a laser light source.
SOLUTION: A device for measuring laser beam stabilizing characteristics includes: a light receiving sensor (1) for detecting change of light receiving shape; a data acquisition part (2) for acquiring data of change of the light receiving shape detected with the light receiving sensor (1); an analyzing part (3) for obtaining the stabilizing time and a beam diameter after stabilization until the beam shape stabilizes from the rise of the laser light source (L) based on obtained data; and a stabilizing confirmation signal output part (4) for outputting a stabilizing confirmation signal (C) when the stabilizing confirmation signal (C) is output after obtaining the stabilizing time and the beam diameter after stabilization or the beam diameter is in an allowable range from the beam diameter after stabilization after stabilizing time passage after the rise of the laser light source (L). After the stabilizing confirmation signal (C) is output, a laser beam (B) can be properly used if the laser beam (B) is put to practical use.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：测量稳定时间等，直到光束形状从激光源的上升稳定为止。解决方案：用于测量激光束稳定特性的装置包括：用于检测光接收形状的变化的光接收传感器（1）数据获取部分（2），用于获取由光接收传感器（1）检测的光接收形状的变化数据; 基于获得的数据，获得稳定时间和稳定后的光束直径直到光束形状从激光源（L）的上升稳定的分析部分（3）以及稳定确认信号输出部（4），用于在获得稳定化时间和稳定后的光束直径或光束直径在允许范围内时输出稳定确认信号（C）时输出稳定确认信号（C）在激光光源（L）上升后的稳定时间通过后的稳定后的光束直径。在输出稳定确认信号（C）之后，如果实际使用激光束（B），则可以适当地使用激光束（B）。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2014215375A レプリカ回折格子及びその製造方法审中-公开
标题翻译： REPLICA DIFFRACTION GRATING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
公开(公告)号：JP2014215375A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2013090983
申请日：2013-04-24
申请人：株式会社島津製作所 , Shimadzu Corp
发明人： OGAMI HIRONORI
IPC分类号： G02B5/18
CPC分类号： G02B5/18
摘要：【課題】より耐久性が高いレプリカ回折格子及びその製造方法を提供する。【解決手段】レプリカ基板201の表面に接着剤層を介して形成された金属薄膜106を備えたレプリカ回折格子200において、前記接着剤層を永久レジスト202により構成する(図2(e)参照)。耐熱性及び耐環境性が高い永久レジスト202をレプリカ基板201の表面と金属薄膜106との間に介在させることで、より耐久性が高いレプリカ回折格子200を提供することができる。また、永久レジスト202を露光することにより、短時間で硬化させることができるため、レプリカ回折格子200の製作時間を短縮することができる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供具有更高耐久性的复制衍射光栅及其制造方法。解决方案：在复制衍射光栅200中，包括通过粘合剂层形成在复制基板201的表面上的金属薄膜106，粘合剂层由永久抗蚀剂202（参见图2（e））构成。通过在复制基板201的表面和金属薄膜106之间具有高耐热性和耐环境性的永久抗蚀剂202，可以提供具有更高耐久性的复制衍射光栅200。此外，通过暴露永久抗蚀剂202，可以在短时间内进行硬化，因此可以缩短复制衍射光栅200的制造时间。

3. 发明专利

JP2008122353A Laser beam characteristics measuring device 审中-公开
标题翻译：激光光束特性测量装置
公开(公告)号：JP2008122353A
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：JP2006309821
申请日：2006-11-16
申请人： Shimadzu Corp , 株式会社島津製作所
发明人： OGAMI HIRONORI
IPC分类号： G01J1/02 , G01J1/04 , G01M11/00 , H01S3/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently make a direct distance between a laser device whose laser beam characteristics are to be measured and a beam profiler can be set shorter than the measurement light path length.
SOLUTION: A first mirror (1) and a second mirror (2) are placed between the laser device (L) and the beam profiler (3), and a laser beam (B) is subjected to reciprocative movement, at least once between the first and second mirrors (1) and (2). As the number of times the laser beam (B) is made to reciprocate between the mirrors (1) and (2) is increased, the direct distance between the laser device (L) and the beam profiler (3) can be set efficiently smaller than the measurement light length (D).
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了有效地将要测量其激光束特性的激光装置与光束轮廓仪之间的直接距离设置得比测量光路长度短。解决方案：将第一反射镜（1）和第二反射镜（2）放置在激光装置（L）和光束轮廓仪（3）之间，激光束（B）至少经受往复运动一次在第一和第二反射镜（1）和（2）之间。随着使激光束（B）在反射镜（1）和（2）之间往复运动的次数增加，激光装置（L）和光束轮廓仪（3）之间的直接距离可以有效地设置得更小比测量光长度（D）。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2008292404A Device for measuring laser beam characteristic 审中-公开
标题翻译：用于测量激光束特性的装置
公开(公告)号：JP2008292404A
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：JP2007140494
申请日：2007-05-28
申请人： Shimadzu Corp , 株式会社島津製作所
发明人： OGAMI HIRONORI
IPC分类号： G01J1/42 , G01J1/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the characteristics of laser beams existing at a plurality of measurement distance simultaneously and easily.
SOLUTION: The device 100 for measuring laser beam characteristics takes image of a part of the laser beam made transmit a first mirror by the camera 3 while making the laser beam B transmit to and from between the first mirror 1 and a second mirror 2, and measures the characteristics of the laser beam from a plurality of beam spots on the image. Therefore, the laser device L, the mirrors 1 and 2, and the camera 3 need not be moved, and also the measurement does not need to be repeated while changing distances.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：同时且容易地测量存在于多个测量距离处的激光束的特性。
解决方案：用于测量激光束特性的装置100，使得所制成的激光束的一部分的图像由摄像机3发送第一反射镜，同时使得激光束B在第一反射镜1和第二反射镜1之间传输并且测量来自图像上的多个光束点的激光束的特性。因此，激光装置L，反射镜1和2以及相机3不需要移动，并且在改变距离的同时也不需要重复测量。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

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