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1. 发明专利

JP2019144146A 流体素子审中-公开
公开(公告)号：JP2019144146A
公开(公告)日：2019-08-29
申请号：JP2018029341
申请日：2018-02-22
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 古門龍彦
IPC分类号： G01F1/00 , G01F1/42
摘要：【課題】高度な加工精度が要求されず、しかも大容量の流体の流体原料の通流を可能にしたディスク方式の流体素子を提供する。【解決手段】質量流量計又は質量流量制御器の主流路Rmに挿入されて使用される流体素子Aである。流体素子Aは、複数の平板状の流路ディスク60と、流路ディスク60の間にて流路ディスク60の周縁全周に気密的又は液密的に接合されたスペーサ70の積層体Cnで構成される。スペーサ70の内側にて、流路ディスク60の中央に中央通流孔61が穿設され、流路ディスク60の周縁に周縁通流孔65が穿設される。積層体Cnの流路ディスク60とスペーサ70とは、拡散接合にて接合される。【選択図】図1

2. 发明专利

JP6203207B2 気化器有权
公开(公告)号：JP6203207B2
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：JP2015019404
申请日：2015-02-03
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 八木茂雄 , 古門龍彦 , 山本健太 , 斎藤哲弘
IPC分类号： H01L21/31

3. 发明专利

JP2016143798A 気化器有权
标题翻译：喷雾器
公开(公告)号：JP2016143798A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：JP2015019404
申请日：2015-02-03
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 八木茂雄 , 古門龍彦 , 山本健太 , 斎藤哲弘
IPC分类号： H01L21/31
摘要：【課題】気化効率がほぼ100%と非常に優れ、且つ、気化量や濃度に関して経時的変化がない気化器を提供する。【解決手段】係る気化器Aは、液体原料Lを霧化して吹き出すアトマイザ7と、アトマイザ7の噴霧口73が接続された中空のアウターチューブ1と、アウターチューブ1内に収納されたインナーチューブ2と、アウターチューブ1の外側或いはインナーチューブ2の内側の少なくともいずれか一方に設けられたヒータ4(9)とで構成されている。インナーチューブ2の先端頭部2aは前記噴霧口73方向に向くように配置され、噴霧口73と該先端頭部2aとの間に霧化空間Mが設けられている。アウターチューブ1の内周面とインナーチューブ2の外側面との間に前記霧化空間Mに連通する気化用間隙3が設けられている。インナーチューブ2の先端頭部2aは、半球状又は円錐状に形成されており、先端頭部2aの頂部Pから外側面に向かって弧状突条81又は弧状溝82が形成されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种实现极好的汽化效率近100％的蒸发器，并且防止蒸发量和浓度的长期变化。本发明的蒸发器A包括：雾化器7，其将液体材料L 喷液体材料L; 与雾化器7的喷射口73连接的中空外管1; 容纳在外管1中的内管2; 以及设置在外管1的外侧和内管2的内侧的至少一方的加热器4（9）。内管2的前端部2a被配置成喷雾口73的方向，雾化空间M设置在喷射口73和尖端头部2a之间。在外管1的内周面与内管2的外表面之间设置有与雾化空间M连通的蒸发间隙3.内管2的前端部2a形成为半球状或圆锥形。弧形突起81或拱形槽82由尖端头部2a的顶部P至外表面形成。图1

4. 发明专利

JP6747727B1 気化器有权
公开(公告)号：JP6747727B1
公开(公告)日：2020-08-26
申请号：JP2019151125
申请日：2019-08-21
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 古門龍彦
IPC分类号： H01L21/31
摘要：【課題】液体原料の高温加熱実現のため、金属製インナーヒータブロックと耐熱ガラス製のインナーチューブとの密着性を向上させ、インナーヒータからの熱伝導を向上させた気化器を提供する。【解決手段】気化器Aは、アトマイザ7、気化器本体Ah、加熱部Akとで構成される。加熱部Akはインナーヒータブロック3、インナーヒータ9とで構成される。インナーチューブ2は耐熱ガラス製で中空の気化器本体Ahの内径より小さい外径を有する。インナーヒータブロック3は、その中心軸CLに沿って分割された分割体31〜3nと、弾発材8とで構成される。弾発材8は分割体31〜3nの間に配設され、分割体31〜3nを離間方向に押圧付勢してインナーチューブ2の内周面に押圧させるように働く。インナーヒータ91〜9nは、前記分割体31〜3nのそれぞれに埋設されている。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6694093B2 気化器有权
公开(公告)号：JP6694093B2
公开(公告)日：2020-05-13
申请号：JP2019076185
申请日：2019-04-12
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 八木茂雄 , 山本健太
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448

6. 发明专利

JP2021190528A 気化器有权
公开(公告)号：JP2021190528A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2020093415
申请日：2020-05-28
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 古門龍彦
IPC分类号： H01L21/316 , H01L21/31
摘要：【課題】小流量は勿論、大流量の場合でも伝熱効率の低下がなく、必要とする液体原料の気化すべき流量を満たすことができる気化器を提供する。【解決手段】気化器Aは液体原料Lを霧化して吹き出すアトマイザ7、アトマイザ7の、噴霧口73が形成されている基部7kに接続された中空のアウターチューブ1、アウターチューブ1内に収納され、石英ガラス又は耐熱性ガラスで形成されているインナーチューブ2及びインナーチューブ2の内側に設けられ、インナーヒータ9を内蔵するインナーヒータブロック8含む。アウターチューブ1、インナーチューブ2は石英ガラス又は耐熱性ガラスで形成されている。インナーチューブ2の内周面と前記インナーヒータブロック8の外周面との間にグラファイト粉末が充填されたインナー充填層10が形成されている。【選択図】図1

7. 发明专利

JP6249934B2 差圧流量計有权
公开(公告)号：JP6249934B2
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：JP2014250950
申请日：2014-12-11
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文
IPC分类号： G01F1/40

8. 发明专利

JP2016114380A 差圧流量計有权
标题翻译：差压流量计
公开(公告)号：JP2016114380A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：JP2014250950
申请日：2014-12-11
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文
IPC分类号： G01F1/40
摘要：【課題】原料液体或いは原料ガスの微少流量から大流量まで、流量の大幅な変更に対しても簡単に対応することができる差圧流量計を提供する。【解決手段】差圧流量計Aは、被測定流体Fが通流する流量計本体1と、被測定流体Fの流れに抵抗を与える差圧発生部10と、該差圧発生部10の両側にそれぞれ設けられた入口側空間12及び出口側空間14と、入口側空間12に設けられた入口側圧力センサPG1及び出口側空間14に設けられた出口側圧力センサPG2と、圧力差(P1−P2)から被測定流体Fの流量を求める演算処理部5とで構成されている。差圧発生部10は、円筒状空間16と、円筒状空間16に対して軸方向に挿脱可能に配設され、円筒状空間16との間の通流用間隙Xに被測定流体Fを通流させる円柱状部材18とで構成されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种差分压力流量计，可以很容易地响应液体原料或原料气体的流量从微小流量到大流量的大的变化。解决方案差压流量计A包括：待测流体F通过的流量计本体1; 用于对被测量的流体F的流动施加阻力的压差产生单元10; 每个设置在压差发生单元10的两侧的入口空间12和出口空间14; 设置在入口空间12中的入口压力传感器PG1和设置在出口空间14中的出口压力传感器PG2; 以及用于从压差（P1-P2）求出待测量的流体F的流量的算术处理单元5。压差产生单元10由圆筒形空间16和圆柱形构件18构成，圆柱形构件18用于使圆柱形空间16和自身之间的循环间隙X中的被测量流体F循环，并且沿轴向方向可拆卸地设置在圆柱形空间16中图1

9. 发明专利

JP2021034472A 気化器有权
公开(公告)号：JP2021034472A
公开(公告)日：2021-03-01
申请号：JP2019151125
申请日：2019-08-21
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 古門龍彦
IPC分类号： H01L21/31
摘要：【課題】液体原料の高温加熱実現のため、金属製インナーヒータブロックと耐熱ガラス製のインナーチューブとの密着性を向上させ、インナーヒータからの熱伝導を向上させた気化器を提供する。【解決手段】気化器Aは、アトマイザ7、気化器本体Ah、加熱部Akとで構成される。加熱部Akはインナーヒータブロック3、インナーヒータ9とで構成される。インナーチューブ2は耐熱ガラス製で中空の気化器本体Ahの内径より小さい外径を有する。インナーヒータブロック3は、その中心軸CLに沿って分割された分割体31〜3nと、弾発材8とで構成される。弾発材8は分割体31〜3nの間に配設され、分割体31〜3nを離間方向に押圧付勢してインナーチューブ2の内周面に押圧させるように働く。インナーヒータ91〜9nは、前記分割体31〜3nのそれぞれに埋設されている。【選択図】図1

10. 发明专利

JP6769645B1 気化器有权
公开(公告)号：JP6769645B1
公开(公告)日：2020-10-14
申请号：JP2020093415
申请日：2020-05-28
申请人：株式会社リンテック
发明人：小野弘文 , 古門龍彦
IPC分类号： H01L21/316 , H01L21/31
摘要：【課題】小流量は勿論、大流量の場合でも伝熱効率の低下がなく、必要とする液体原料の気化すべき流量を満たすことができる気化器を提供する。【解決手段】気化器Aは液体原料Lを霧化して吹き出すアトマイザ7、アトマイザ7の、噴霧口73が形成されている基部7kに接続された中空のアウターチューブ1、アウターチューブ1内に収納され、石英ガラス又は耐熱性ガラスで形成されているインナーチューブ2及びインナーチューブ2の内側に設けられ、インナーヒータ9を内蔵するインナーヒータブロック8含む。アウターチューブ1、インナーチューブ2は石英ガラス又は耐熱性ガラスで形成されている。インナーチューブ2の内周面と前記インナーヒータブロック8の外周面との間にグラファイト粉末が充填されたインナー充填層10が形成されている。【選択図】図1

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