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    • 4. 发明专利
    • 絶縁膜形成用塗布液
    • 绝缘膜形成用涂布液
    • JP2017017339A
    • 2017-01-19
    • JP2016190885
    • 2016-09-29
    • 株式会社リコー
    • 曽根 雄司植田 尚之中村 有希▲高▼田 美樹子松本 真二早乙女 遼一新江 定憲安部 由希子
    • H01L29/786H01L21/312H01L21/336
    • 【課題】高速動作が可能であり、かつ高信頼性を示す電界効果型トランジスタの提供。 【解決手段】基材と、保護層と、前記基材、及び前記保護層の間に形成されたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層と接するように形成されたソース電極、及びドレイン電極と、少なくとも前記ソース電極、及び前記ドレイン電極の間に形成され、前記ゲート絶縁層、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極と接する半導体層と、前記ゲート絶縁層を挟んで前記半導体層とは反対側に形成され、前記ゲート絶縁層と接するゲート電極とを有し、前記保護層が、少なくともSiと、アルカリ土類金属とを含有する複合金属酸化物を含有する電界効果型トランジスタである。 【選択図】図3A
    • 为了提供高速操作是可能的,并且提供了显示高可靠性的场效应晶体管。 和基板的保护层,衬底,和保护层之间形成的栅极绝缘层,形成在与栅极绝缘层接触的源电极,和漏电极, 至少所述源极电极和漏极电极之间形成,在形成栅绝缘层,源电极接触的半导体层,和漏极电极,在相反侧跨越栅绝缘层的半导体层 它是和栅极电极接触所述栅极绝缘层,其中所述保护层是至少含有Si和一个场效应晶体管,包括含有碱土金属的复合金属氧化物。 点域3A