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    • 5. 发明专利
    • 導電性物質の形成装置及びその形成方法
    • 形成装置和方法,用于形成导电材料
    • JPWO2013039109A1
    • 2015-03-26
    • JP2013533689
    • 2012-09-12
    • 国立大学法人山梨大学株式会社フジクラ
    • 英一 近藤英一 近藤正弘 松原正弘 松原竹内 裕人裕人 竹内満洋 渡邉満洋 渡邉山本 敏敏 山本直博 菊川直博 菊川
    • C23C18/40C23C18/31
    • C23C18/40C23C18/1603C23C18/1619C23C18/1685C23C18/31H01L21/283H01L21/76898
    • この導電性物質の形成装置は、微細孔内への導電性物質の形成装置であって、超臨界流体又は亜臨界流体に少なくとも金属錯体を溶解してなる流体を反応容器へ導入し、該反応容器内において連続的に特定の方向へ移動する該流体の中に、平板状の基体を配して、該基体に設けられた微細孔の内壁へ導電性物質を形成する装置であって、前記反応容器は前記流体が導入される第一空間と該流体が導出される第二空間とを備えており、前記第一空間に導入された前記流体が移動する特定の方向に対して前記基体の第二面を垂直とし、かつ、該基体の第二面から第一面に向けて、該基体の微細孔の中を前記流体が進行するように、前記基体の第一面を全面に亘って支持するとともに、前記第二空間へ該流体が通過する、微細な連通孔を内在する支持部材を配置している。
    • 形成导电材料的装置是由导电材料制成的成形装置进该细孔,以及将通过至少在超临界流体或亚临界流体中的金属配合物溶解到反应容器中而得到的流体,将反应 一些在在特定方向上连续地移动,通过设置板状的基体中的流体的容器中,用于形成导电材料,以所提供的微孔的内壁上的装置向所述衬底,所述 反应容器上设置有在其中所述第一空间和在其被引入的流体的流体所来源的底物,对于其中引入第一空间内的流体移动的特定方向的第二空间 第二表面和从所述基体的所述第二表面的垂直并朝向所述第一表面上,从而使微孔的流体行进时,在基板的整个表面上的第一表面的基体的内部 同时支持,流体通入第二空间,固有细连通孔支撑 它被设置构件。