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1. 发明专利

JP6299589B2 紫外レーザ装置、該紫外レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置有权
公开(公告)号：JP6299589B2
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：JP2014503860
申请日：2013-03-05
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： H01S3/10 , H01L21/027 , G02F1/35
CPC分类号： G03F7/70191 , G02F1/353 , G02F1/3534 , G02F2001/3507 , G03F7/70025 , H01S3/0092 , H01S3/06754 , H01S3/1608 , H01S3/1618 , H01S3/2391

2. 发明专利

JP2015180903A レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置审中-公开
标题翻译：激光装置和曝光装置以及包括激光装置的检查装置
公开(公告)号：JP2015180903A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：JP2012169644
申请日：2012-07-31
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/00 , H01L21/027 , G03F7/20 , G03F1/84 , G01N21/84 , G01N21/956 , H01L21/66 , G02F1/37
摘要：【課題】簡明な構成で出力光を高速且つ安定的に制御可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ装置LSは、第1波長のレーザ光を発生する第1光源11及び第2波長のレーザ光を発生する第2光源12を有するレーザ光発生部1と、レーザ光発生部から出力された第1,第2波長のレーザ光を増幅して第1,第2増幅光を出力する増幅部2と、第1増幅光を第1変換光に波長変換し第2増幅光を透過する第1波長変換光学素子31、及び第1変換光と第2増幅光とから第2変換光を発生する第2波長変換光学素子32を有する波長変換部3と、レーザ光発生部の作動を制御する制御部8とを備える。そして制御部8が、レーザ光出力部から出力する第1波長のレーザ光及び第2波長のレーザ光の出力タイミングを制御することにより、第1変換光と第2増幅光との時間的な重ね合わせを制御し、第2変換光の出力状態を制御するように構成される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够高速且稳定地控制输出光的简洁结构的激光装置。解决方案：激光装置LS包括：激光发生单元1，具有产生第一光源11的激光，产生第二波长的激光的第一波长和第二光源12; 放大单元2，其放大从激光发生单元输出的第一和第二波长的激光，以输出第一和第二放大光; 波长转换单元3，其具有第一波长转换光学元件31，该第一波长转换光学元件31将第一放大光的波长转换为第一转换光同时允许第二放大光通过;第二波长转换光学元件32，其从第一转换产生第二转换光光和第二放大灯; 以及控制单元8，其控制激光产生单元的致动。控制单元8控制第一波长的激光的输出定时和从激光输出单元输出的第二波长的激光，以及时控制第一转换光和第二放大光的重叠，并且控制输出状态第二转换灯。

3. 发明专利

JP2015180902A レーザ装置、このレーザ装置を備えた露光装置及び検査装置审中-公开
标题翻译：激光装置和曝光装置以及包括激光装置的检查装置
公开(公告)号：JP2015180902A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：JP2012169643
申请日：2012-07-31
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02F1/37
摘要：【課題】簡明な構成で出力光を高速且つ安定的に制御可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ装置LSは、ともにパルス状の第1波長のレーザ光を発生する第1光源11及び第2波長のレーザ光を発生する第2光源12と、第1,第2波長のレーザ光を増幅して第1,第2増幅光を出力する増幅器21と、第1増幅光を第1変換光に波長変換し第2増幅光を透過する第1波長変換光学素子31と、第2増幅光を第2変換光に波長変換し第1変換光を透過する第2波長変換光学素子32と、第1変換光と第2変換光とから第3変換光を発生する第3波長変換光学素子33と、第1,第2の作動を制御する制御部8とを備える。制御部8は、第1波長のレーザ光と第2波長のレーザ光との相対的な出力タイミングを制御することにより、第1変換光と第2変換光との時間的な重ね合わせを制御し、第3変換光の出力状態を制御するように構成される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够高速，稳定地控制输出光的简洁结构的激光装置。解决方案：激光装置LS包括：第一光源11，其产生第一波长的脉冲状激光，以及产生第二波长的脉冲状激光的第二光源12; 放大器21，其放大第一和第二波长的激光以输出第一和第二放大光; 第一波长转换光学元件31，其在允许第二放大光通过的同时执行第一放大光的波长转换为第一转换光;第二波长转换光学元件32，其将第二放大光的波长转换执行到第二转换光，同时允许第一放大光通过;以及第三波长转换光学元件33，其从第一转换光和第二转换光产生第三转换光; 以及控制单元8，其控制第一和第二光源的致动。控制单元8控制第一波长的激光与第二波长的激光之间的相对输出定时，以及时控制第一转换光和第二转换光的重叠，并控制第三转换光的输出状态。

4. 发明专利

JPWO2017204112A1 パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017204112A1
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：JP2017018852
申请日：2017-05-19
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： G02F1/37 , H01S3/10 , H01S3/067 , H01S3/00 , G03F7/20 , G01N21/84 , G02F1/365
摘要：【課題】波長スペクトルの拡がりを抑えて増幅した大きな強度のパルス光を得る。【解決手段】パルス光生成装置は、第1パルス光と、前記第1パルス光の強度が増加する際には強度が減少し前記第1パルス光の強度が減少する際には強度が増加する第2パルス光と、が合波されて入射し内部を伝播する第1光ファイバと、前記第1光ファイバから出射した前記第1パルス光を受けて内部を伝播し増幅する第2光ファイバと、を備え、前記第1光ファイバにおいて前記第2パルス光からの相互位相変調により前記第1パルス光に位相変調が発生し、前記第2光ファイバにおいて前記第1パルス光に発生する自己位相変調は、前記第1光ファイバにおいて発生した位相変調によって減殺される構成である。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6020441B2 紫外レーザ装置有权
标题翻译：紫外线激光装置
公开(公告)号：JP6020441B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2013506039
申请日：2012-03-23
申请人：株式会社ニコン
发明人：尾下善紀 , 徳久章
IPC分类号： H01S3/10 , G02F1/37
CPC分类号： H01S3/10 , G02F1/3534 , G02F1/37 , G02F2201/16

6. 发明专利

JP5780457B2 レーザ装置、レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置有权
标题翻译：激光装置，曝光装置和检查装置，包括一个激光装置
公开(公告)号：JP5780457B2
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：JP2011160273
申请日：2011-07-21
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： H01L21/027 , G03F1/84 , G01N21/956 , G02F1/37

7. 发明专利

JP6828742B2 パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置有权
公开(公告)号：JP6828742B2
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：JP2018519248
申请日：2017-05-19
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： G02F1/37 , G02F1/365 , G03F7/20 , G01N21/84 , G01N21/956 , H01S3/00 , H01S3/10 , G02F1/01

8. 发明专利

JP6304365B2 パルス光の発生方法、パルスレーザ装置、該パルスレーザ装置を備えた露光装置及び検査装置、及び電子デバイスの製造方法有权
公开(公告)号：JP6304365B2
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：JP2016504138
申请日：2015-02-18
申请人：株式会社ニコン
发明人：稲葉直人 , 徳久章
IPC分类号： G02F1/37 , H01S3/10 , H01S3/00 , G03F7/20 , G02F1/03
CPC分类号： H01S3/0085 , G03F7/70025 , G03F7/70041

9. 发明专利

JP2015118959A 光源装置审中-公开
标题翻译：光源设备
公开(公告)号：JP2015118959A
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：JP2013259570
申请日：2013-12-16
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： G01D5/347 , H01S3/23 , H01S5/40
摘要：【課題】簡明な構成で、均質化された多数のレーザ光を出力可能な光源装置を提供する。【解決手段】光源装置LSは、レーザ光を発生する2 n 個(図示する形態においてn=3)の単位光源11〜18を備えた光源部10と、一組のレーザ光を合波し均等に分割する合波分割器Cが2 n-1 個×n段(同上、4個×3段)接続された合波分割部20とを備え、2 n 個の単位光源から出力されたレーザ光を合波分割部20により順次合波し分割して、2 n 本(同上、8本)のレーザ光を出力するように構成される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以输出大量具有简洁结构的均匀化激光束的光源装置。解决方案：光源装置LS包括光源部分10，其包括2（以所示形式n = 3））用于产生激光的单元光源11-18，以及多路复用和解复用部分20，其中（2）×n级（以所示形式的4×3级）多路复用器和解复用器C，用于复用和均匀解复用一组连接激光束。光源装置LS被配置为通过多路复用和多路复用部分20对从2个单位光源输出的激光进行顺序复用和解复用，并输出2（n = 8，以所示形式）激光束。

10. 发明专利

JP6311720B2 レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置有权
公开(公告)号：JP6311720B2
公开(公告)日：2018-04-18
申请号：JP2015543905
申请日：2014-10-23
申请人：株式会社ニコン
发明人：徳久章
IPC分类号： G02F1/37 , G02F1/035 , H01S3/00 , H01S5/02 , G03F7/20 , G01N21/956 , G01N21/84 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/06754 , G02F1/353 , G02F2001/354 , G03F7/70025 , H01S3/0085 , H01S3/0092 , H01S3/10015 , H01S3/1003 , H01S3/1618 , H01S3/2391

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