会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明专利
    • AlN単結晶の作製方法及びAlN単結晶
    • AlN单晶和AlN单晶的制造方法
    • JP2016050165A
    • 2016-04-11
    • JP2015035214
    • 2015-02-25
    • 国立大学法人名古屋大学
    • 宇治原 徹永冶 仁渡邉 将太陳 鳴宇竹内 幸久
    • C30B25/18H01L21/208C30B29/38
    • 【課題】AlN単結晶を溶液法で作成する方法において、溶媒表面での雑晶の析出を抑制しつつ、AlN単結晶を基板上に良好に成長させる。 【解決手段】Al及びNの何れとも化合物を形成しない、又はAl及びNガスの何れかと化合物を形成するが当該化合物の標準生成自由エネルギーがAlNの標準生成自由エネルギーよりも大きい条件を満たす元素X(例えばFe)を用い、AlN単結晶の成長温度範囲において未飽和状態と過飽和状態とを形成する組成Fe−Xの溶媒を用いた。溶媒上部(溶媒表面)を未飽和状態とすることで、溶媒表面での雑晶の析出を抑制し、溶媒下部(溶媒と基板との界面)を過飽和状態とすることで、AlN単結晶の基板上への成長を促進する。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:通过溶液法在制造AlN单晶的方法中,通过抑制溶液表面上的杂晶的析出,有效地在基板上生长AlN单晶。解决方案:元素X(包括Fe)为 使用,其满足元素X不与Al或N形成化合物或与Al或N气体形成化合物的条件,但化合物形成的标准自由能大于AlN的化合物。 使用具有Fe-X组成的溶液,其在AlN单晶的生长温度范围内形成不饱和状态和过饱和状态。 通过使溶液的上部(溶液表面)成为不饱和状态来抑制溶液表面上的杂晶的析出,并且通过使溶液的下半部分(边界)使AlN单晶生长到基板上 在溶液和底物之间)过饱和状态。选择图:图3