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    • 2. 发明专利
    • アクリル酸エステル誘導体、混合物、高分子化合物およびフォトレジスト組成物
    • 丙烯酸衍生物,混合物,聚合物化合物和光电组合物
    • JP2016141737A
    • 2016-08-08
    • JP2015018671
    • 2015-02-02
    • 株式会社クラレ
    • 宇治田 克爾荒谷 一弘
    • G03F7/039H01L21/027C07D327/06C07D327/02C08F20/38
    • 【課題】ラインウィドゥスラフネス(LWR)が改善され、且つ高解像度のフォトレジストパターンが形成するフォトレジスト組成物、該フォトレジスト組成物を製造し得る高分子化合物及び該高分子化合物を製造する化合物の提供。 【解決手段】式(1)で示されるアクリル酸エステル誘導体。 (R 1 はH、メチル基又はトリフルオロメチル基;R 2 はH;X 1 は−S−;X 2 は−O−又は−S−;U 1 及びU 2 は各々独立に単結合、又はメチレン基及びエチレン基から選択されるアルキレン基;該アルキレン基はアルキル基又はシクロアルキル基から選択される少なくとも1つの置換基によって置換されていてもよい。) 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种光致抗蚀剂组合物,其中形成具有改善的线宽粗糙度(LWR)和高分辨率的光致抗蚀剂图案,可以制备上述光致抗蚀剂组合物的高分子化合物和用于制备高分子化合物的化合物 。溶液:提供由式(1)表示的丙烯酸酯衍生物。 在该式中,R代表H,甲基或三氟甲基; R代表H Xrepresents -S-; X表示-O-或-S-; Uand Ueach独立地表示单键或选自亚甲基和亚乙基的亚烷基,亚烷基可以被至少一个选自烷基和环烷基的取代基取代。选择的图:无