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1. 发明专利

JP2021144975A 処理装置と切換バルブユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2021144975A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：JP2020040751
申请日：2020-03-10
申请人：株式会社キッツエスシーティー , 株式会社SCREENホールディングス
发明人：星野好文 , 樋口英明 , 岸谷京太郎 , 西出基
IPC分类号： F16K1/34 , F16K1/44 , H01L21/304
摘要：【課題】処理室から複数種の処理流体を排出する際に、処理室内の圧力変動の適切な抑制と、複数種の処理流体の確実な切り替えを確保しつつも、極めて簡素かつコンパクトな構成であって、しかも、メンテナンス性、或は排気シール性や作動性、更に組立性も極めて良好な処理装置と切換バルブユニットを提供することにある。【解決手段】複数種の処理流体で被処理体を処理するチャンバとチャンバに接続されチャンバから排気される排気管と複数種の処理流体の少なくとも1つに対応する分岐ダクトとこの分岐ダクトに対応する処理流体に接続する複数の集合排気ダクトとこの集合排気ダクト内に対応する処理流体を排気するための切換バルブ機構とを備え、この切換バルブ機構は、チャンバからの処理流体を集合排気ダクト内へ排出する排出弁体と集合排気ダクト内へ外気を導入する導入弁体とを連結して直動式構造とした処理装置である。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2017069345A 基板処理装置におけるフィルタ交換方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017069345A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2015192114
申请日：2015-09-29
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：西出基 , 温井宏樹
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】フィルタの取り外し時に液だれが生じると基板処理装置を汚染するため、事前にフィルタの液抜きを確実に実行できるフィルタ取外し方法を提供する。【解決手段】薬液供給配管11にはフィルタ19が介挿されている。フィルタ19の一次側ドレイン配管31には一次側ドレインバルブ33が、二次側ドレイン配管32には二次側ドレインバルブ34が配設される。ポンプ14から気体を供給すると一次側空間X1は液抜きできるが、濾過部材39の気体透過性が低いため二次側空間X2の液抜きができない。しかし、二次側ドレインバルブ34を開放した状態で一次側ドレインバルブ33を開閉すると、ポンプ14から供給される気体に圧力変動が生じて、二次側ドレイン管32から二次側空間X2に気泡44が進入しやすくなる。結果、二次側空間X2および二次側ドレイン管32の液抜きが完了する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2020047897A 基板処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020047897A
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：JP2018177591
申请日：2018-09-21
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：西出基 , 姜貴暢 , 松本隆雄
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】排気管における圧力損失を低減するとともに、基板処理装置のフットプリントを小さくする。【解決手段】基板処理装置1では、上下方向に配列される複数の処理部31よりも上方に、複数の集合管61a〜61cが配置される。複数の集合管61a〜61cは、複数の流体区分にそれぞれ対応する。また、複数の処理部31から上方に向かうとともに、複数の処理部31からの排気がそれぞれ流入する複数の排気管4が設けられる。各排気管4の上端部には、当該上端部を複数の集合管61a〜61cに接続するとともに、当該排気管4を流れる排気の流路を複数の集合管61a〜61cの間で切り替える流路切替部5が設けられる。基板処理装置1では、排気管4における圧力損失を低減するとともに、フットプリントを小さくすることができる。【選択図】図1

4. 发明专利

JP6576770B2 基板処理装置におけるフィルタ交換方法有权
公开(公告)号：JP6576770B2
公开(公告)日：2019-09-18
申请号：JP2015192114
申请日：2015-09-29
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：西出基 , 温井宏樹
IPC分类号： H01L21/304

5. 发明专利

JP2019061988A 薬液生成方法、薬液生成装置および基板処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019061988A
公开(公告)日：2019-04-18
申请号：JP2017183007
申请日：2017-09-22
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：西出基 , 伊豆田崇 , 林孝俊 , 福井克洋 , 辻川裕貴 , 三浦淳靖 , 藤田和宏 , 岡本浩一 , 根来世 , 小林健司
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/306
摘要：【課題】溶存酸素濃度が一定に保たれた薬液を生成できる基板生成方法および基板生成装置を提供する。薬液処理のバラツキをより一層抑制することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置1は、処理ユニット2と、処理ユニット2において基板Wに供給される薬液を生成する薬液生成装置としての薬液生成ユニット3とを含む。薬液生成ユニット3は、処理ユニット2に供給するための薬液を貯留するタンク16と、タンク16に貯留されている薬液に、酸素ガスを含む酸素含有ガスと不活性ガスを含む不活性含有ガスとを互いに同時に供給することにより、前記酸素含有ガスおよび前記不活性含有ガスを予め定める比率で薬液に溶解させる気体溶解ユニット26とを含む。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2019057677A 基板処理方法および基板処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019057677A
公开(公告)日：2019-04-11
申请号：JP2017182376
申请日：2017-09-22
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：西出基 , 伊豆田崇
IPC分类号： H01L21/306 , H01L21/304
摘要：【課題】ノズルの吐出口から液体が吹き飛ばされることを抑制できる基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理方法は第1工程と第2工程とを備える。第1工程において、硫酸と過酸化水素水との混合液を、配管を介してノズルから基板へ向けて吐出する。第1工程の後に、第2工程において、過酸化水素水を、配管を介してノズルから基板へ向けて吐出する。第1工程は、A)前記混合液を前記配管に導入開始する混合液導入開始工程と、(B)(A)の後に、前記硫酸の前記配管への導入停止する混合液導入停止工程と、(C)前記混合液と前記過酸化水素水との境界部に気体層を形成する気体層形成工程と、(D)(B)と同時またはその直後に、前記配管へ導入する前記過酸化水素水の流量を低下させ又は流量をゼロとする緩和工程とを含む。【選択図】図2

7. 发明专利

JP2016189386A 基板処理装置审中-公开
标题翻译：基板加工设备
公开(公告)号：JP2016189386A
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：JP2015068538
申请日：2015-03-30
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：西出基
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】基板処理装置の緊急停止時に制御部は薬液送液用ポンプを停止させるが、ポンプは慣性を有しているためポンプは直ちに停止しない。このため薬液配管の内部圧力が上昇する。配管の内部圧力が上昇した状態で誤って継手を外すと薬液が配管外部に吐出するおそれがある。【解決手段】薬液供給配管11に連結されたエア抜き配管30にリーク弁31を連結する。リーク弁31はエア抜き配管30からのエア抜きを許容する開放状態とエア抜きを停止する閉鎖状態との間で遷移可能であり、バネ36により開放状態に付勢されている。リーク弁31は基板処理装置1の動作中は駆動手段32から送り込まれる作動空気41によって閉鎖状態に付勢されている。制御手段43は漏液センサ33等によってエラーを検知すると駆動手段43の電源遮断処理を実行しこれによりリーク弁31は直ちに開放状態に遷移しエア抜き配管30からエア抜きが即座に実行される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题为了解决这样的问题，虽然控制部在基板处理装置的紧急停止时停止化学品输送泵，但是泵不会由于其惯性而立即停止，从而内部压力化学管道增加，当化学管道的内部压力增加时意外移除接头时，存在化学品排放到管道外部的风险。解决方案：泄漏阀31与排气管管道30与化学品供应管道11连接。泄漏阀31可以在允许从排气管30排出空气的打开状态和用于阻止空气流出的关闭状态之间转换，并且通过弹簧36.在基板处理装置1的操作期间，泄漏阀31借助于从驱动装置32供给的工作空气41而被通电到关闭状态。当通过泄漏检测器发现错误时 r 33等，控制装置43执行驱动装置32的电源中断处理。泄漏阀31立即转换到打开状态，并且立即执行从排气管30排出的气体。选择的图：图1

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