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1. 发明专利

JP5247934B2 A stylus-type measuring device 有权
公开(公告)号：JP5247934B2
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：JP2012511861
申请日：2011-11-10
申请人：株式会社アルバック
发明人：智志柴 , 誠一佐藤 , 充矢作
IPC分类号： G01B5/008 , G01B5/20
CPC分类号： G01B5/008 , G01B21/045
摘要： A probe measuring device in which a probe is supported by a Y-axis stage (4) supported via a linear guide by a beam (32) at the top of a portal frame that moves freely in the X-axis direction relative to an object to be measured, wherein deterioration in measurement accuracy due to abrasion of the linear guide is prevented. The linear guide is composed of a pair of guide rails (51, 52) fixed to the undersurface of the beam (32), and a pair of linear-motion bearings (53, 54) that come into moveable contact with guide surfaces (51a, 52a), which are inclined relative to the vertical plane of the guide rails (51, 52). One of the linear-motion bearings (54) is made to float freely in the X-axis direction and the vertical direction relative to the Y-axis stage (4). An urging means (55), which urges the linear-motion bearing (54) in the X-axis direction in such a manner as to press the bearing against the guide surface (52a) of the guide rail (52), is disposed on the Y-axis stage (4), a second urging means (56), which urges the linear-motion bearing (54) downward, is disposed on the beam (32) side, and the direction of the vector of the resultant force of the urging forces of both urging means (55, 56) is thereby made to coincide with the normal direction of the guide surface (52a).

2. 发明专利

JP5133426B2 Discharge device 有权
公开(公告)号：JP5133426B2
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：JP2010532902
申请日：2009-10-05
申请人：株式会社アルバック
发明人：貴裕宮田 , 真朗村田 , 智志柴 , 充矢作 , 純平湯山
IPC分类号： B41J2/175
CPC分类号： B41J2/17513 , B41J2/175 , B41J2/17556 , B41J2/17566

3. 发明专利

JP5424808B2 Print head and discharge device 有权
公开(公告)号：JP5424808B2
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：JP2009238673
申请日：2009-10-15
申请人：株式会社アルバック
发明人：貴裕宮田 , 真朗村田 , 智志柴 , 充矢作
IPC分类号： B05C5/00 , B41J2/16
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet-type printing head which enables a mending of a discharge failure due to damage inflicted to a piezoelectric vibrator and is free from the deterioration of liquid droplet discharging performance even after the mending, as well as a discharge device. SOLUTION: This printing head 1 is of the following structure: each different type of elastic member 5 is arranged on the top of each pressure generating chamber 9 of a printing head 1, and the end part of each different type of piezoelectric vibrator 4 is set in contact with each elastic member 5. In addition, an enclosure 2 for the printing head 1 includes a plurality of fixed plates 3 set in place, and each piezoelectric vibrator 4 is fixedly attached to either one of the fixed plates 3 by a part of the piezoelectric vibrator 4 separated from the elastic member 5. Each fixed plate 3 is constituted in the way that it is individually detachable from an enclosure 2 while the other fixed plate 3 is fixedly attached to the enclosure 2. When a discharge failure occurs due to troubles of some of the piezoelectric vibrators 4, the fixed plate 3 related to the faulty piezoelectric vibrator 4 can be removed from the enclosure 2 and repaired. Since the contact state between the elastic member 5 and the piezoelectric vibrator 4 remains unchanged before and after the repair, the discharge performance does not deteriorate. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

4. 发明专利

JP4961041B2 Discharge unit and discharge device 有权
公开(公告)号：JP4961041B2
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：JP2010531842
申请日：2009-09-28
申请人：株式会社アルバック
发明人：誠一佐藤 , 展史南 , 貴裕宮田 , 真朗村田 , 智志柴 , 和博武者 , 純平湯山 , 充矢作
IPC分类号： B41J2/175
CPC分类号： B41J2/17596 , B41J2/17556

5. 发明专利

JP6122711B2 位置合わせ装置、真空装置、位置合わせ方法有权
公开(公告)号：JP6122711B2
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：JP2013135567
申请日：2013-06-27
申请人：株式会社アルバック
发明人：智志柴 , 智志柴 , 裕利中尾 , 裕利中尾
IPC分类号： G01B11/00 , C23C14/24 , G01B11/26

6. 发明专利

JPWO2010044406A1 印刷ヘッド、印刷装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2010044406A1
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：JP2010533904
申请日：2009-10-14
申请人：株式会社アルバック
发明人：貴裕宮田 , 貴裕宮田 , 村田　真朗 , 真朗村田 , 智志柴 , 智志柴 , 充矢作 , 充矢作 , 湯山　純平 , 純平湯山
IPC分类号： B05C5/00 , B41J2/045 , B41J2/055 , G02B5/20 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： B41J2/14274 , B41J2/055 , B41J2002/14403 , B41J2002/14419 , B41J2202/09 , H01L51/0005
摘要：共通インク室8や固定基板3を介して振動が伝達されないようにする。共通インク室8と圧力発生室9の間に多孔質部材11を配置し、共通インク室8から圧力発生室9には、多孔質部材11の内部を通過して吐出液が移動するようにする。一方の圧力発生室9で発生した振動は、共通インク室8を介して他の圧力発生室9に伝達される際に、多孔質部材11を通過して減衰されるから、クロストークは発生しない。更に、同一の固定基板3には、長さの異なる圧電振動子4を取り付けて圧電振動子4の共振周波数を異ならせると、固定基板3と圧電振動子4を介して他の圧力発生室9に振動が伝達されなくなり、一層クロストークが発生しなくなる。

7. 发明专利

JPWO2010041625A1 吐出装置有权
公开(公告)号：JPWO2010041625A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：JP2010532902
申请日：2009-10-05
申请人：株式会社アルバック
发明人：貴裕宮田 , 貴裕宮田 , 村田　真朗 , 真朗村田 , 智志柴 , 智志柴 , 充矢作 , 充矢作 , 湯山　純平 , 純平湯山
IPC分类号： B41J2/175
CPC分类号： B41J2/17513 , B41J2/175 , B41J2/17556 , B41J2/17566
摘要：【要約】インクタンクの背圧を制御する。インクタンク11の内部には多孔質体10が配置されており、多孔質体10の下端がインク21と接触し、毛細管力によりインク21が多孔質体10内部を上昇する。多孔質体10の上端はインク21に浸漬されず、インクタンク11に蓄液されたインク21には上昇する力が最大限に働く。従って、インクタンク11よりも下方にある吐出ヘッド3からインク21が漏れない。また、インク21は多孔質体10の下方に溜まり、多孔質体10に接触するインク21の量が少ないから、インク21の成分が劣化し難い。

8. 发明专利

JPWO2015146025A1 成膜装置及び成膜方法有权
公开(公告)号：JPWO2015146025A1
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：JP2016509978
申请日：2015-03-10
申请人：株式会社アルバック
发明人：裕利中尾 , 裕利中尾 , 佐藤　誠一 , 誠一佐藤 , 智志柴 , 智志柴 , 雄也坂内 , 雄也坂内 , 孔木村 , 孔木村
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/52 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/042 , C23C14/562
摘要：シート状の基材を所定速度で走行させながら、マスク越しに成膜材料を供給して基材の片面に所定のパターンで連続して成膜するときに、シート状の基材の部分とシート状の転写基板の部分とを高精度で位置合わせすることができ、しかも、装置コスト及びランニングコストを削減することができる成膜装置を提供する。成膜手段9からシート状の基材Swに向かう方向を上として、マスク材走行手段4は、一方向に走行されるシート状の基材の部分Sw1に対してシート状のマスク材Smの部分Sm1を上下方向に所定間隔を持って平行に走行させる平行走行領域形成部42a,42bと、シート状の基材に同期させてシート状のマスク材を走行させる駆動部42d、DM2とを有し、平行走行領域形成部と駆動部とが単一の架台41に設置される。

9. 发明专利

JPWO2012066756A1 触針式測定装置有权
公开(公告)号：JPWO2012066756A1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：JP2012511861
申请日：2011-11-10
申请人：株式会社アルバック
发明人：智志柴 , 智志柴 , 佐藤　誠一 , 誠一佐藤 , 充矢作 , 充矢作
IPC分类号： G01B5/008 , G01B5/20
CPC分类号： G01B5/008 , G01B21/045
摘要：被測定物に対しX軸方向に相対移動自在な門型フレームの上端のビーム32にリニアガイドを介して支持されるY軸ステージ4に触針を支持させた触針式測定装置において、リニアガイドの摩耗による測定精度の悪化を防止する。リニアガイドは、ビーム32の下面に固定した一対のガイドレール51,52と、各ガイドレール51,52の鉛直面に対し傾斜したガイド面51a,52aに移動自在に接触する一対の直動軸受53,54とで構成される。一方の直動軸受54は、Y軸ステージ4に対しX軸方向及び上下方向に遊動自在とする。Y軸ステージ4に、直動軸受54をガイドレール52のガイド面52aに押し付けるようにX軸方向に付勢する付勢手段55を設けると共に、ビーム32側に、直動軸受54を下方に付勢する第2付勢手段56を設けて、両付勢手段55,56の付勢力の合力のベクトル方向をガイド面52aの法線方向に合致させる。

10. 发明专利

JPWO2010044407A1 印刷ヘッド、印刷装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2010044407A1
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：JP2010533905
申请日：2009-10-14
申请人：株式会社アルバック
发明人：貴裕宮田 , 貴裕宮田 , 村田　真朗 , 真朗村田 , 智志柴 , 智志柴 , 充矢作 , 充矢作 , 湯山　純平 , 純平湯山
IPC分类号： B41J2/045 , B05C5/00 , B41J2/055 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： B41J2/14274 , B41J2002/14419 , B41J2202/09
摘要：固定基板3を介して振動が伝達されないようにする。圧電振動子4の振動に対する共振周波数を異ならせるために、同一の固定基板3には、長さの異なる圧電振動子4を取り付ける。電圧が印加された圧電振動子4により、膨張・収縮した圧力発生室9の残留振動が固定基板3に伝達されても、圧電振動子4間の共振周波数が違うため、固定基板3を介して他の圧電振動子4に振動が伝達されても、その圧電振動子4は振動しない。従って、その圧電振動子4が当接している圧力発生室9は振動による膨張・収縮がない。

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