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    • 2. 发明专利
    • 処理方法
    • 处理方法
    • JP2015098565A
    • 2015-05-28
    • JP2013240347
    • 2013-11-20
    • 東京応化工業株式会社
    • 中村 彰彦藤井 恭石田 信悟岩田 泰昌今井 洋文
    • H01L21/683H01L21/02C09J5/04
    • 【課題】第二の接着剤層を溶解することなく積層体から第一支持体を分離する。 【解決手段】処理方法は、第一サポートプレート13における分離層14が設けられた面に、基板11を貼り付ける第一貼付工程と、その後、基板11における第一サポートプレート13が貼り付けられた面に背向する面に、第二サポートプレート23を貼り付ける第二貼付工程と、第二貼付工程の後、分離層14に光を照射することにより当該分離層14を変質させて第一サポートプレート13と基板11とを分離する分離工程とを包含する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:在不溶解第二粘合剂层的情况下将第一载体与层压体分开。解决方案:一种处理方法,包括:将基板11粘贴到第一支撑板13的表面上的第一粘附步骤,其上分离层 14; 第二粘贴步骤,其后将第二支撑板23粘贴到与第一支撑板13卡在其上的基板11的表面相对的表面上; 以及在第二贴附步骤之后用光照射分离层14的分离步骤,从而改变分离层14以分离第一支撑板13和基板11。