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1. 发明专利

JP6026848B2 パターン形成方法及び凸版有权
标题翻译：图案形成方法和凸版
公开(公告)号：JP6026848B2
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：JP2012233765
申请日：2012-10-23
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉原和佳
IPC分类号： B41F3/20 , G02B5/20 , H05K3/12 , B41M1/02

2. 发明专利

JP6112620B2 電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法有权
公开(公告)号：JP6112620B2
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：JP2014224423
申请日：2014-11-04
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：杉原和佳 , 小倉晋太郎 , 牛島洋史
IPC分类号： B41F3/58 , B41F3/82 , B41F17/14 , B23Q3/08 , B41M1/02 , B41M1/34 , H05K3/12 , B41F3/20

3. 发明专利

JP6207490B2 電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法有权
公开(公告)号：JP6207490B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2014224416
申请日：2014-11-04
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉原和佳
IPC分类号： B05C1/08 , B41F33/08 , B41F3/20 , B41F3/56 , H01L21/027 , B05D1/28 , H05K3/20 , B41F33/00

4. 发明专利

JP2020121829A 粉体フィーダー及び粉体の供給方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020121829A
公开(公告)日：2020-08-13
申请号：JP2019013540
申请日：2019-01-29
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：門沢克治 , 杉原和佳
IPC分类号： B65G27/16 , H01G11/84 , H01G13/00 , H01G11/06 , H01G11/50 , B65G27/02
摘要：【課題】経時的に安定した量の粉体の供給を行う技術を提供する。【解決手段】ボウルは供給対象の粉体を収容し、その内壁面に沿って、底部側から上部側の払い出し口に至るらせん状の傾斜路が形成され、駆動部は前記傾斜路に沿って、前記底部側から前記払い出し口側へ向けて前記粉体を移動させるために、前記ボウルを繰り返し回転振動させる。駆動制御部は、前記回転振動の周波数と、前記払い出し口から単位時間当たりに払い出される粉体の払い出し量との対応関係が、前記ボウル内に収容された粉体の重量の変化に応じて変化することを把握した結果に基づき、前記払い出し量を調節するための前記周波数の経時変化を示す振動パターンに基づいて前記駆動部を動作させる。【選択図】図9

5. 发明专利

JP2017217841A 印刷装置および印刷方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017217841A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2016114476
申请日：2016-06-08
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉原和佳
IPC分类号： B41F3/82 , B41F17/14 , B41M1/02 , B41M1/12 , B41M1/34 , B41F3/20
摘要：【課題】被印刷基材上に配置された個々の被印刷基板に高い精度で所定のパターンを印刷する。【解決手段】マーク検出器26は、少なくともローラ胴20の回転軸方向に複数のブロック9が配置された被印刷基板ユニット10において、ブロック9毎にブロック9の位置情報を検出する。被印刷基板テーブル8は、ブロック9毎に、マーク検出器26によって検出された位置情報に基づいて、ローラ胴20とブロック9とが所定の位置関係になるように、被印刷基板ユニット10を移動させる。上下機構23a、上下機構23b、および回転機構24は、ブロック9毎に、被印刷基板テーブル8が移動させた被印刷基板ユニット10内のブロック9上にローラ胴20の表面に設けられたブランケット21を押圧しながらローラ胴20を回転させることにより、ブランケット21の転写領域に形成されている印刷パターンをブロック9に印刷する。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2016092185A パターン形成方法、電子デバイス及びパターン形成装置审中-公开
标题翻译：图案形成方法，电子装置和图案形成装置
公开(公告)号：JP2016092185A
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：JP2014224422
申请日：2014-11-04
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：杉原和佳 , 小倉晋太郎 , 牛島洋史
IPC分类号： H01L29/786 , H01L21/336
摘要：【課題】本発明は、下地層と半導体層との間におけるパターンの位置合わせの精度を向上させることを目的とする。【解決手段】基板上に印刷されたインク材料パターンを改質したパターンが形成された下地層に半導体層のパターンを形成する方法であって、下地層に形成するインク材料パターンの設計上の位置に対する改質したパターンの位置のずれに対応して開口位置が補正されたマスクを用いて、下地層の所定の位置に半導体層のパターンを成膜するパターン形成方法が提供される。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提高衬底层和半导体层之间的图案的对准精度。解决方案：提供了一种图案形成方法，其是在衬底层上形成半导体层的图案的方法，形成通过改变印刷在基板上的油墨图案而获得的图案。在图案形成方法中，使用其中打开位置被响应于修改图案的位置相对于位置上的位置被校正的掩模形成在基板层上的预定位置处的半导体层的图案在基材层上形成的墨水材料图案的设计。图示：图4

7. 发明专利

JP2016087916A 電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法有权
标题翻译：电子设备图案打印机及其打印方法
公开(公告)号：JP2016087916A
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：JP2014224423
申请日：2014-11-04
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：杉原和佳 , 小倉晋太郎 , 牛島洋史
IPC分类号： B41F3/82 , B41F3/58 , B41F17/14 , B41M1/02 , B41M1/34 , H05K3/12 , B41F3/20
摘要：【課題】少なくとも2層の多孔質板を用いてワーク板を固定することによって、電子デバイスのパターンの印刷性を向上することができる電子デバイスパターンの印刷装置又はその印刷方法を提供すること。【解決手段】電子デバイスパターンの印刷装置であって、前記ワーク板を保持する保持部材を搭載するテーブルと、前記テーブルを相対的に移動させることによって前記ワーク板にインクを塗布するための移動機構とを有し、前記保持部材は、少なくとも2層の多孔質板を備え、前記2層の多孔質板を介して前記ワーク板を吸引して固定し、前記2層の多孔質板において、前記ワーク板に接する側の一の多孔質板の孔径が他の多孔質板の孔径より小さい、電子デバイスパターンの印刷装置が提供される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于电子设备图案的打印机或其打印方法，通过使用至少两层的多孔板固定工作板，可以提高电子设备的图案的打印质量。解决方案：一种用于电子设备图案的打印机具有安装有用于保持工作板的保持构件的工作台以及相对移动工作台的移动机构，从而将油墨涂覆到工作板上。保持构件配备有至少两层的多孔板。在打印机中，工作板通过两层多孔板被吸入和固定，而在两层的多孔板中，与工作板接触的一侧的一个多孔板的孔直径小于其他孔的孔径多孔板。选择图：图1

8. 发明专利

JP2021012829A 電極製造装置及び電極製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021012829A
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：JP2019127070
申请日：2019-07-08
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：門沢克治 , 杉原和佳 , 吉井直樹 , 梶公智
IPC分类号： H01G13/00 , H01G11/86 , H01G11/50 , H01M4/04 , H01M10/058 , B65H23/16 , B65H18/10 , H01M4/139
摘要：【課題】電極シートに粉体を供給する処理を速やかに行うと共に、当該処理後の電極製造プロセスを簡素にすること【解決手段】本開示の電極製造装置は、長尺な電極シートがロールツーロールによって長さ方向に搬送される処理室と、軸方向が前記電極シートの搬送方向と交差する回転軸を備え、前記電極シートの搬送中に回転するように前記処理室に設けられた回転体と、前記処理室を搬送中の前記電極シートに向けて粉体を供給して処理する処理部と、前記電極シートとの干渉を防ぐために前記搬送方向に対して直交する方向において異なる第1の位置と第2の位置との間で移動し、前記第1の位置において前記電極シートを覆って当該電極シートへの前記粉体の供給を局所的に防ぐように前記回転体に設けられたマスクと、を備える。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2016124174A 電子デバイス用パターンの形成方法及び電子デバイスパターンの印刷装置审中-公开
标题翻译：电子设备图案的形成方法和电子设备图案的打印机
公开(公告)号：JP2016124174A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2014265699
申请日：2014-12-26
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉原和佳 , 西林孝浩
IPC分类号： B41M1/30 , B41M1/02 , H05K3/12 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L21/288 , B41M1/18 , B41M1/34
摘要：【課題】一回の印刷で形成されるパターンに欠陥が発生しても歩留まりの低下を防ぐことが可能な、電子デバイス用パターンの形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】インクを用いて電子デバイス用パターンの印刷を行う第1の印刷工程と、前記印刷された電子デバイス用パターンに新たなインクを重ねて印刷する第2の印刷工程と、を有する、電子デバイス用パターンの形成方法が提供される。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于电子设备的图案的形成方法，即使在通过一次印刷形成的图案中产生缺陷也可以降低成品率。解决方案：一种用于电子设备，其具有：通过使用墨水打印电子设备的图案的第一打印步骤; 并且提供了在刚刚印刷有新墨水的电子设备的图案上叠加和打印图案的第二印刷步骤。图示：图4

10. 发明专利

JP2016087915A 電子デバイスパターンの印刷装置及びその印刷方法有权
标题翻译：电子设备图案的打印机和打印方法
公开(公告)号：JP2016087915A
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：JP2014224416
申请日：2014-11-04
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉原和佳
IPC分类号： B05C1/08 , B41F33/08 , B41F3/20 , B41F3/56 , H01L21/027 , B05D1/28 , H05K3/20 , B41F33/14
摘要：【課題】被印刷体の表面に複数回の印刷を実施する場合において、電子デバイスのパターンの印刷性を向上することができる印刷装置又はその印刷方法を提供する。【解決手段】ワーク板Pwを保持する搭載するテーブルTwと、表面に液膜が形成されたローラBkと、テーブルTwを相対的に移動させることによってワーク板Pwに液膜を塗布するための移動機構と、ワーク板Pwの形状を解析する解析手段20と、解析手段20が解析した解析結果に基づいて、ローラBkの位置及び駆動を制御する駆動制御手段30とを有し、解析手段20は、ワーク板Pwの形状の検出結果に基づいてワーク板Pwの歪み量としてワーク板Pwの変形に係るシフト量、倍率、直交度又は回転量のいずれか一つを算出し、算出した歪み量に基づいてローラBkの位置又は回転速度のいずれか一つを制御する補正値を算出し、駆動制御手段30は、算出した補正値に基づいて、ローラBkを制御する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种打印机和打印方法，在打印机的表面上执行多次打印的情况下，可以提高电子设备的图案的可印刷性。打印机电子设备图案具有：在保持工作板的同时在其上装载工作板Pw的工作台Tw; 在其表面上形成液膜的辊Bk; 相对移动台面Tw的移动机构，由此用液膜涂布工作板Pw; 用于分析工作板Pw的形状的分析装置20; 以及驱动控制装置30，其基于由分析装置20分析的分析结果来控制滚子Bk的位置和驱动。分析装置20计算移动量，倍率，正交程度和基于工作板Pw的形状的检测结果，作为工作板Pw的应变量的工件板Pw的变形量的旋转量，并且计算控制工件板Pw的位置和转速基于所计算的应变量，滚子Bk，驱动控制装置30根据计算出的校正值来控制滚子Bk。图1

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