专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP6468213B2 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体有权
公开(公告)号：JP6468213B2
公开(公告)日：2019-02-13
申请号：JP2016030347
申请日：2016-02-19
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：梶原正幸 , 安藤了至 , 正木洋一 , 稲田博一
IPC分类号： G03F7/16 , H01L21/02 , H01L21/027

2. 发明专利

JP6369398B2 流量測定装置、及び処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP6369398B2
公开(公告)日：2018-08-08
申请号：JP2015123949
申请日：2015-06-19
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：梶原正幸 , 林聖人 , 安藤了至 , 稲田博一
IPC分类号： G01F1/28

3. 发明专利

JP2017147415A 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体有权
公开(公告)号：JP2017147415A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：JP2016030347
申请日：2016-02-19
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：梶原正幸 , 安藤了至 , 正木洋一 , 稲田博一
IPC分类号： G03F7/16 , H01L21/02 , H01L21/027
摘要：【課題】付着成分を含む雰囲気が発生する複数の基板処理部の雰囲気を共通の排気路を通じて排気するにあたって、基板処理部毎の個別排気路の異常を確実に検出できる技術を提供すること。【解決手段】ウエハWにレジスト塗布を行う複数のレジスト塗布ユニット10A〜10Dを、排気用力設備により排気される共通排気路60を介して排気するにあたって、レジスト塗布ユニット10A〜10D毎の個別排気管50A〜50Dの排気圧と共通排気路60の排気圧とを測定し、各測定値と対応する許容圧力範囲とを比較している。このため、個別排気管50A〜50Dにおける付着物の詰まりなどの異常を確実に検出することができる。【選択図】図5

4. 发明专利

JP2018185793A 処理装置、異常検知方法および記憶媒体审中-公开
公开(公告)号：JP2018185793A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2018036149
申请日：2018-03-01
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：中溝賢治 , 守田聡 , 田中明賢 , 小宮洋司 , 中島幹雄 , 福田孝佑 , 正木洋一 , 安藤了至 , 須中郁雄
IPC分类号： G01F1/00 , H01L21/304 , G05D7/06
摘要：【課題】流路開閉部の異常を検知すること。【解決手段】実施形態の一態様に係る処理装置は、チャンバと、ノズルと、流量測定部と、流路開閉部と、制御部とを備える。チャンバは、被処理体を収容する。ノズルは、チャンバ内に設けられ、被処理体へ向けて処理液を供給する。流量測定部は、ノズルに供給される処理液の流量を測定する。流路開閉部は、ノズルへの処理液の供給流路の開閉を行う。制御部は、流路開閉部に対し、供給流路を閉じる閉動作を行わせる閉信号を出力する。また、制御部は、閉信号の出力後に流量測定部によって測定された流量の積算量に基づき、流路開閉部の動作異常を検知する。【選択図】図8

5. 发明专利

JP2017009380A 流量測定装置、及び処理装置审中-公开
标题翻译：流量测量装置，以及处理单元
公开(公告)号：JP2017009380A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015123949
申请日：2015-06-19
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：梶原正幸 , 林聖人 , 安藤了至 , 稲田博一
IPC分类号： G01F1/28
摘要：【課題】処理部から排出される気体の流量を幅広い範囲で正確に測定することが可能な流量測定装置、及びこの流量測定装置を備えた処理装置を提供する。【解決手段】流量測定装置は、被処理体に対する処理が行われる処理部から排出され、排気路30を流れる気体の流量を測定し、受風部材21は排気路30を流れる気体の流れと交差するように配置される受風面210を備え、気体から受ける力に応じて状態が変化する。センサ部24は、受風部材21の状態の変化量を検出して、当該変化量に応じた信号を出力し、流量算出部8は、この信号に基づき、排気路30を流れる気体の流量を算出する。【選択図】図1
摘要翻译：精确的流量测量装置能够测量的宽范围内的处理单元排出的气体的流速，并提供一种具有所述流量测量装置的处理装置的。在工件上进行的流量测量装置从处理单元排出进行处理，流过排气通道30的气体的流量进行测量，空气接收件21相交的气体在排气通路30中流动的流包括风力接收其被设置为表面210中，响应于一个力状态改变从气体施加。传感器单元24检测在空气接收件21的状态的变化量，并输出对应于该变化量，所述流量运算单元8，基于该信号的信号时，气体的流率流过排气通道30 计算。点域1

6. 发明专利

JP5874514B2 液処理装置、液処理方法および記憶媒体有权
标题翻译：液体处理装置，处理液体的方法和存储介质
公开(公告)号：JP5874514B2
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：JP2012101471
申请日：2012-04-26
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：安藤了至 , 佐藤尊三
IPC分类号： G01F1/66 , G01F1/00 , H01L21/027
CPC分类号： G01F1/66 , B05C11/1013

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式