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    • 3. 发明专利
    • カーボンナノチューブの製造方法及びその製造用装置
    • 碳纳米管的生产方法及其生产装置
    • JP2016132594A
    • 2016-07-25
    • JP2015008334
    • 2015-01-20
    • 本田技研工業株式会社
    • 青木 誠志太田 圭祐
    • B82Y40/00C01B31/02
    • 【課題】高品質なカーボンナノチューブを高能率に生産することが可能な製造方法及びこのような製造方法に適用する製造装置を提供すること。 【解決手段】スパッタリング法により、不活性ガスのプラズマイオンをターゲットの金属に衝突させてターゲット物質をたたき出してカーボンナノチューブ成長用の触媒金属とする金属原子を基板上1に堆積させる。これと同時に、該堆積した金属原子に低エネルギーのイオン122を衝突させる。これにより、金属原子を成膜せることなく凝集させて微粒子化すると共に該微粒子の基板表面における分布を均一化して金属微粒子触媒を形成する。このような金属微粒子触媒を用いてCVD法により基板上にカーボンナノチューブを成長させる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种以高效率生产高品质碳纳米管的生产方法和适用于这种生产方法的生产设备。解决方案:作为生长碳纳米管的催化剂金属的金属原子沉积在 通过使惰性气体的等离子体离子与目标金属碰撞以通过溅射法溅射靶材料的衬底1。 与此同时,使低能离子122与沉积的金属原子碰撞。 由此,使金属原子聚集并形成颗粒而不沉积,并且金属颗粒催化剂通过使颗粒在基材表面上的分布均匀化而形成。 碳纳米管通过使用这种金属颗粒催化剂的CVD法在基板上生长。图1