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    • 5. 发明专利
    • 積層体の製造方法および積層体
    • 生产层压板和层压板的方法
    • JP2015166287A
    • 2015-09-24
    • JP2012153497
    • 2012-07-09
    • 旭硝子株式会社
    • 木原 直人見矢木 崇平
    • C01G23/07C23C14/34C23C14/58C03C17/34B32B9/00B60J1/00C03C17/27
    • C23C14/5806C03C17/2456C03C17/3417C23C14/0036C23C14/083C03C2217/212C03C2217/734C03C2218/155
    • 【課題】ルチル型酸化チタンから主としてなる酸化チタン層を有する積層体の製造方法であって、成膜時の温度および成膜後の熱処理温度を比較的低温にできる積層体の製造方法を提供する。 【解決手段】積層体の製造方法は、成膜工程と熱処理工程とを有する。成膜工程は、150℃以下の温度の透明基体上に、Ni、Fe、およびCuから選ばれる少なくとも1種の添加元素を1〜5原子%含むチタンターゲットを使用して、スパッタリング法により前駆体層を成膜する。熱処理工程は、前駆体層が形成された透明基体を550〜750℃の温度で熱処理して、ルチル型酸化チタンから主としてなる酸化チタン層を得る。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供层压体的制造方法,其中层压体具有主要由金红石型二氧化钛组成的氧化钛层和膜沉积时的温度以及在膜之后进行热处理时的温度 可以使沉积物相对较低。解决方案:制备层压体的方法包括膜沉积步骤和热处理步骤。 在薄膜沉积步骤中,通过溅射法在150℃或更低的温度下在透明基板上沉积前体层,通过使用含有1-5原子%的至少一种选自Ni, Fe和Cu。 在热处理步骤中,将前体层沉积的透明基板在550-750℃的温度下进行热处理,得到主要由金红石型二氧化钛组成的氧化钛层。