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    • 5. 发明专利
    • 半導体装置の製造方法
    • 半导体器件制造方法
    • JP2016174182A
    • 2016-09-29
    • JP2016120865
    • 2016-06-17
    • 日立化成株式会社
    • 川守 崇司榎本 哲也加藤木 茂樹
    • C09J201/00H01L21/301
    • 【課題】半導体チップと回路基板との接続信頼性を十分に確保できる積層シートを用いた半導体装置の製造方法を提供すること。 【解決手段】基材フィルムと、該基材フィルム上に積層された2層以上の樹脂層と、を備える積層シートを用いた半導体装置の製造方法であって、2層以上の樹脂層のうち、基材フィルムに最も近い第一樹脂層の方が、基材フィルムから最も遠い第二樹脂層よりもアルカリ現像液又は有機溶剤に対する溶解速度が速く、少なくとも第二樹脂層が、接着性を有する層であり、積層シートの第二樹脂層側に半導体ウェハを貼り付けた状態で、半導体ウェハをダイシングして複数の半導体チップに切り分けるダイシング工程と、ダイシング工程の後、積層シートにおける2層以上の樹脂層の一部をアルカリ現像液又は有機溶剤を用いた現像により除去する現像工程と、を含む、半導体装置の製造方法。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种使用能够充分确保半导体芯片和电路板之间的连接可靠性的层叠片的半导体器件制造方法。解决方案:使用层叠片的半导体器件的制造方法,所述层叠片包括基材膜和 层叠在基材膜上的两层以上的树脂层包括:切割步骤,在将半导体晶片安装在层压片的第二树脂层侧的状态下,将半导体晶片切割成多个半导体芯片,其中, 从两层和多层树脂层中最接近基材薄膜的第一树脂层对碱性显影剂或有机溶剂的溶液速率比离基材膜最远的第二树脂层的溶液速率至少为 第二树脂层是粘合剂层; 以及显影步骤,通过在切割步骤之后使用碱性显影剂或有机溶剂进行显影,去除层压片材的两层和更多层树脂层的一部分。选择的图:图1
    • 8. 发明专利
    • 液状感光性接着剤
    • 液体感光胶
    • JP2015228524A
    • 2015-12-17
    • JP2015172985
    • 2015-09-02
    • 日立化成株式会社
    • 満倉 一行大久保 恵介榎本 哲也増子 崇永井 朗
    • C09J4/02C09J11/06C09J201/00H01L21/60
    • H01L2224/16145H01L2224/32145H01L2224/73104H01L2224/73204
    • 【課題】 バンプ部分のボイドが十分に低減されており、なおかつ研削後の反りを十分小さくすることができる接着剤層付き半導体ウェハを得ることができる接着剤層付き半導体ウェハの製造方法、並びに、そのような接着剤層付き半導体ウェハを用いる、半導体装置の製造方法、及び半導体素子付き半導体ウェハの製造方法の製造方法を提供すること。 【解決手段】 本発明の液状感光性接着剤は、金属バンプが形成された回路面を有する半導体ウェハの回路面上に、感光性接着剤層を形成するための液状感光性接着剤であって、(A)放射線重合性化合物、(B)光開始剤、及び(C)熱硬化性樹脂、を含み、(A)成分が、分子内に1つの炭素−炭素二重結合を有するイミド基含有(メタ)アクリレートを含む。 【選択図】 なし
    • 要解决的问题:提供一种用于制造具有粘合剂层的半导体晶片的方法,通过该方法可以获得具有在凸起部分的空隙中充分减小的粘合剂层并且能够充分降低研磨后的翘曲的半导体晶片; 使用具有粘合剂层的这种半导体晶片制造半导体器件的方法; 以及一种制造具有半导体元件的半导体晶片的方法。解决方案:本发明的液体感光性粘合剂是用于在半导体晶片的电路表面上形成感光性粘合层的液体感光性粘接剂, 形成金属凸块,并且包括(A)辐射聚合性化合物,(B)光引发剂和(C)热固性树脂,所述(A)成分包括含有一个碳 - 碳双键的含有酰亚胺基的(甲基)丙烯酸酯, 一个分子