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1. 发明专利

JP6326824B2 感光性樹脂組成物およびその用途有权
公开(公告)号：JP6326824B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2014005488
申请日：2014-01-15
申请人：日油株式会社
发明人：田口寛之 , 加藤行浩 , ニ戸吉徳 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/004 , C08F222/06 , C08F232/08 , C08F8/14 , G03F7/023

2. 发明专利

JP2016018168A 感光性樹脂組成物およびその用途有权
标题翻译：光敏树脂组合物及其用途
公开(公告)号：JP2016018168A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：JP2014142740
申请日：2014-07-10
申请人：日油株式会社
发明人：二戸吉徳 , 田口寛之 , 加藤行浩 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/023 , H01L21/027 , C08L61/04 , C08K5/28 , C08L45/00 , G03F7/004
摘要：【課題】解像度が高く、高い現像残膜率を維持したまま、現像残渣がなく、感度も良好な感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】成分(A)としてノボラック樹脂、成分(B)としてキノンジアジド基を有するエステル化物、成分(C)としてインデンから誘導される構成単位、酸無水物単量体から誘導される構成単位および酸無水物単量体をアルコールによってエステル化して誘導される構成単位を含有する特定構造のインデン共重合体を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有高分辨率，无显影残留和良好的灵敏度的感光性树脂组合物，同时保持显影的残留膜的高比例。溶解性：感光性树脂组合物包含：酚醛清漆树脂作为组分（A）; 具有醌二叠氮化物基团作为组分（B）的酯化产物; 作为（C）成分，具有含有来自茚的结构单元的特定结构的茚共聚物，来自酸酐单体的结构单元和通过用醇酯化酸酐单体衍生的结构单元。没有

3. 发明专利

JP2015179121A 感光性樹脂組成物およびその用途审中-公开
标题翻译：感光树脂组合物及其用途
公开(公告)号：JP2015179121A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：JP2014055557
申请日：2014-03-18
申请人：日油株式会社
发明人：田口寛之 , 二戸吉徳 , 加藤行浩 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/022 , G03F7/004 , H01L21/027 , C08F222/14 , C08F220/04 , C08F8/12 , C08G59/42 , C08L35/02 , C08K5/28 , C08K5/1515 , G03F7/023
摘要：【課題】パターン膜の形成工程において、高感度でありながら、高い残膜率を維持したまま、現像残渣がなく、高温ベーキング後において、耐溶剤性等の塗膜物性を損なうことなく、パターン膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】成分(A)として特定のイタコン酸ジエステル系共重合体、成分(B)として特定のエステル化物、および成分(C)として2個以上のエポキシ基を有する化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种可以形成图案膜的感光性树脂组合物，使得组合物在形成图案膜的过程中不会留下显影残留物而显示出高灵敏度并保持高残留膜比，并且该组合物在高温烘烤过程后显示出涂膜的耐溶剂性的物理性能没有劣化。解决方案：感光性树脂组合物包含特定的衣康酸二酯共聚物作为组分（A），特定的酯化产物作为组分（B）和具有2个或更多个环氧基的化合物作为组分（C）。

4. 发明专利

JP5691657B2 感光性樹脂組成物およびその用途有权
标题翻译：感光性树脂组合物以及它们的用途
公开(公告)号：JP5691657B2
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：JP2011047818
申请日：2011-03-04
申请人：日油株式会社
发明人：二戸吉徳 , 田口寛之 , 高橋修一 , 加藤行浩
IPC分类号： G03F7/004 , H01L21/027 , G03F7/023

5. 发明专利

JP2015179218A ポジ型感光性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：正性感光树脂组合物
公开(公告)号：JP2015179218A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：JP2014057206
申请日：2014-03-19
申请人：日油株式会社
发明人：二戸吉徳 , 田口寛之 , 加藤行浩 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/004 , C08F212/06 , C08F222/10 , C08F220/04 , C08F220/32 , G03F7/023
摘要：【課題】低誘電性を維持しながら、高感度で、高い残膜率を維持したまま、現像残渣がなく、高温ベーキング後においても光透過率、溶剤耐性等の塗膜物性を損なうことなく、低誘電特性に優れたパターン膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供することにある。【解決手段】成分(A)として特定の共重合体、成分(B)として多官能フェノール性化合物とキノンジアジド化合物とをエステル化反応させて得られるキノンジアジド基を有するエステル化物および成分(C)としてエポキシ基を有する特定の共重合体を含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供一种感光性树脂组合物，可以以这样的方式形成具有优异的低介电特性的图案膜，使得组合物显示出高灵敏度并保持低的介电性能和高的残留膜比，而不留下显影残余物并且即使在组合物进行高温烘烤之后，该组合物也不显示涂膜的物理性能例如光透射率和耐溶剂性。溶液：感光性树脂组合物包含作为组分（A）的特定共聚物，作为（B）成分的多官能酚类化合物和醌二叠氮化合物酯化得到的具有醌二叠氮化物基团的酯化产物和具有环氧基作为（C）成分的特定共聚物。

6. 发明专利

JP2015176067A 感光性樹脂組成物及びその用途有权
标题翻译：光敏树脂组合物及其用途
公开(公告)号：JP2015176067A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：JP2014053932
申请日：2014-03-17
申请人：日油株式会社
发明人：田口寛之 , 加藤行浩 , 二戸吉徳 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/004 , H01L21/027 , G03F7/023
摘要：【課題】パターン膜の形成工程において、高い現像残膜率を維持し、現像残渣がなく、高温ベーキング時の耐熱性に優れ、低誘電特性に優れたパターン膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】シクロドデカトリエンから誘導される構成単位、および酸無水物単量体を開環させた後、アルコールによってエステル化して誘導される構成単位を含有するシクロドデカトリエン共重合体成分、キノンジアジド基を有する感光剤成分並びにエポキシ基を有する化合物成分を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供一种感光性树脂组合物，可以以这样的方式形成具有优异的低介电特性的图案膜，使得组合物在形成图案的过程中保持高显影残余膜比而不留下显影残留并且该组合物在高温烘烤过程中表现出优异的耐热性。溶解性：感光性树脂组合物包含：含有衍生自环十二碳三烯的结构单元的环十二碳三烯共聚物组分和通过开环酸酐单体衍生的结构单元并用醇酯化单体; 具有醌二叠氮基的感光剂组分; 和具有环氧基的化合物组分。

7. 发明专利

JP2015132779A 感光性樹脂組成物およびその用途有权
标题翻译：光敏树脂组合物及其用途
公开(公告)号：JP2015132779A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2014005488
申请日：2014-01-15
申请人：日油株式会社
发明人：田口寛之 , 加藤行浩 , ニ戸吉徳 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/004 , H01L21/027 , C08F222/06 , C08F232/08 , C08F8/14 , G03F7/023
摘要：【課題】パターン膜の形成工程において、高い現像残膜率を維持し、現像残渣がなく、高温ベーキング時の耐熱性に優れ、低誘電特性に優れたパターン膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】インデンから誘導される構成単位、酸無水物単量体から誘導される構成単位及び酸無水物単量体をアルコールによってエステル化して誘導される構成単位を含有するインデン共重合体成分、キノンジアジド基を有する感光剤成分並びにエポキシ基を有する化合物成分を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种感光性树脂组合物，可以形成这样的图案膜，其在图案膜的形成过程中不产生显影残留而保持高显影残留率，在高温下具有优异的耐热性烘烤，具有优异的低介电特性。解决方案：感光树脂组合物包含：含有衍生自茚的结构单元的茚共聚物组分，衍生自酸酐的结构单元和通过酸酐单体的酯化衍生的结构单元用酒精具有醌二叠氮基的感光剂组分; 和具有环氧基的化合物组分。

8. 发明专利

JP6287652B2 感光性樹脂組成物およびその用途有权
公开(公告)号：JP6287652B2
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：JP2014142740
申请日：2014-07-10
申请人：日油株式会社
发明人：二戸吉徳 , 田口寛之 , 加藤行浩 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/023 , C08L61/04 , C08K5/28 , C08L45/00 , G03F7/004

9. 发明专利

JP6248725B2 感光性樹脂組成物及びその用途有权
公开(公告)号：JP6248725B2
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：JP2014053932
申请日：2014-03-17
申请人：日油株式会社
发明人：田口寛之 , 加藤行浩 , 二戸吉徳 , 高橋修一
IPC分类号： G03F7/023

10. 发明专利

JP2015179120A 感光性樹脂組成物およびその用途审中-公开
标题翻译：感光树脂组合物及其用途
公开(公告)号：JP2015179120A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：JP2014055556
申请日：2014-03-18
申请人：日油株式会社
发明人：二戸吉徳 , 田口寛之 , 加藤行浩 , 高橋修一
IPC分类号： C08F220/18 , C08F212/06 , G03F7/023
摘要：【課題】パターン膜の形成工程において、高感度でありながら、高い残膜率を維持したまま、現像残渣がなく、高温ベーキング後においても光透過率、耐溶剤性等の塗膜物性を損なうことなく、発泡無く厚膜でも形成可能なパターン膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】成分(A)として特定のイタコン酸ジエステル系共重合体、成分(B)として特定のエステル化物、成分(C)として2個以上のエポキシ基を有する化合物、および成分(D)として特定の構成単位からなる共重合体を含有する感光性樹脂組成物【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种可以形成图案膜的感光性树脂组合物，使得组合物在形成图案膜的过程中不会留下显影残留物而显示出高灵敏度并保持高残留膜比，组合物表现出光透射率和耐溶剂性等涂膜的物理性能没有劣化，高温焙烧处理后没有发泡，甚至可以形成厚膜。溶液：感光性树脂组合物包含作为组分（A）的特定衣康酸二酯共聚物，作为组分（B）的特定酯化产物，具有两个或更多个环氧基作为组分（C）的化合物，和包含特定结构单元作为组分（D）。

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