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    • 2. 发明专利
    • 欠陥分析装置、欠陥分析方法及びプログラム
    • 缺陷分析仪,缺陷分析方法,以及程序
    • JPWO2014157539A1
    • 2017-02-16
    • JP2015508704
    • 2014-03-27
    • 日本電気株式会社
    • 慎 冨永慎 冨永佐々木 康弘康弘 佐々木尚武 高橋尚武 高橋裕文 井上裕文 井上
    • G01M3/24G01N29/11G01N29/34G01N29/48
    • G01M3/243
    • 地面(4)から離れた位置に設置されている配管(2)に振動を印加する加振部(6)と、加振部(6)を制御し、配管(2)内に複数の周波数の振動を含む第1の振動を印加させる第1加振制御部(101)と、加振部(6)により印加されて配管(2)を伝搬する第1の振動を検知する第1検知部(7)と、地面(4)に設置され第1の振動を検知する第2検知部(9)と、加振部(6)を制御し、第1の振動を第1検知部(7)が検知することで得られた振動波形(第1振動波形)と、第1の振動を第2検知部(9)で検知することで得られた振動波形(第2振動波形)とを用いて決定された周波数の振動である第2の振動を、配管(2)に印加させる第2加振制御部(103)と、地面(4)に設置され、加振部(6)により印加された第2の振動を検知する第3検知部(8)と、を有する欠陥分析装置。
    • 用于施加振动的管道,其安装在工作地面振动单元(4)(2)和(6),并且控制振动单元(6),所述管(2)在所述多个频率的 第一检测单元,用于检测第一振动控制单元用于将第一振动包括振动(101),第一振动传播的管由励磁单元施加(6)(2)( 7)控制,用于检测所述第一振荡的第二检测器被放置在地面上(4)和(9)中,振动部(6),所述第一振荡的第一检测单元(7) 使用由检测而获得的振动波形(第一振动波形),以及第一振动和在通过检测所得到的振动波形的第二检测部(9)(第二振动波形)来确定 一直是第二振动的频率的振动时,管(2)用于施加到(103)的第二振动控制单元,放置在地面上(4),第一通过振动单元施加(6) 具有用于检测2(8),所述的振动第三检测缺陷分析器。