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    • 8. 发明专利
    • テラヘルツ波導波回路
    • 太赫兹波波导电路
    • JP2017005631A
    • 2017-01-05
    • JP2015120611
    • 2015-06-15
    • 日本電信電話株式会社学校法人上智学院
    • 小熊 学井藤 幹隆郷 隆司浅川 修一郎高橋 浩
    • G02B6/122H01P11/00H01Q13/02H01Q13/06H01P3/123
    • 【課題】量産に適したテラヘルツ波用の導波路作製技術はまだ存在していない。特に1THzよりも低い周波数のテラヘルツ波領域では、導波路の短辺が数100μm程度まで長くなるため、導波路を形成するときの加工深さに関連する問題は深刻であって、テラヘルツ波用の集積回路を実現するときの大きな障害となっていた。 【解決手段】本発明のテラヘルツ波導波回路では、2枚の基板を貼り合わせて中空構造の導波路を形成することで、形成が必要な溝の深さが従来技術の半分で済む。溝形成時の加工ズレ量を半分に抑制できる。これによって、中空構造の導波路を利用して作製されたフィルタでは、中心波長ズレを半分に抑制し、反射減衰量を抑制した導波回路を実現できる。さらに、溝を加工中の熱衝撃や導波回路を使用中の振動衝撃によって導波回路が割れてしまう問題が避けることもできる。より薄く、価格の安いSi基板などを選択可能となり、より低い周波数側のテラヘルツ波領域用の導波回路も実現可能となる。 【選択図】図1
    • 对于太赫兹波的波导的制造技术是适合于大规模生产尚未存在。 具体地,在频率低于1赫兹下的太赫兹波区域中,由于波导的短边增加至几百微米,与加工深度为形成波导是一个严重的相关联的问题,对于太赫兹波 实施集成电路时,这是一个主要障碍。 在太赫兹波波导电路本发明涉及一种通过形成具有中空结构的波导键合二个衬底时,需要形成的深度槽只需要在现有技术的一半。 它可以在槽形成过程中被抑制到一半的加工偏差量。 因此,在其中使用具有中空结构的波导,由中心波长偏移半抑制制造的过滤器,可实现波导电路,其抑制反射衰减量。 另外,也能够避免使用时的处理槽热休克或波导电路中的裂纹由于振动冲击波导电路的问题。 稀释剂等成为一个可选择的低速Si衬底价格,能够实现波导管电路,用于低频侧的太赫兹波区域。 点域1