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1. 发明专利

JP2016216313A 油分除去装置及びそれを用いたアンモニアの精製装置审中-公开
标题翻译：油分去除装置及使用该氨净化装置
公开(公告)号：JP2016216313A
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：JP2015104184
申请日：2015-05-22
申请人：日本パイオニクス株式会社
发明人：荒川秩 , 秋山敏雄 , 矢田浩一 , 槙田敦哉
IPC分类号： B01D46/52 , B01D53/04 , B01D46/00 , B01D53/58 , B01D53/78 , F25J1/00 , F25J3/06 , C01C1/12
CPC分类号： B01D53/04 , B01D46/0036 , B01D46/521 , B01D46/543 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/1122 , B01D2257/702
摘要：【課題】工業用として市販されている安価な粗アンモニア、及び窒化ガリウム系化合物半導体の製造工程から回収される粗アンモニアから、気相成長に悪影響を及ぼす原因となる油分等の不純物を除去し、連続して窒化ガリウム系化合物半導体プロセスに供給することが可能なアンモニアの精製手段を提供する。【解決手段】不純物として油分を含む粗アンモニアから、油分を除去する油分除去装置であって、プリーツ状、ハニカム状、または立体構造状に加工されたろ過膜を円筒状に成形してなるろ過素子が収納された油分フィルター筒、及び活性炭が充填された油分吸着筒からなる油分除去装置とする。さらに、前記の油分除去装置のほか、ニッケルを有効成分とする触媒が充填された触媒筒、及び合成ゼオライトが充填された吸着筒を備えたアンモニア精製装置とする。【選択図】図11
摘要翻译：一个廉价的粗氨其可商购作为工业，并从氮化镓系化合物半导体的制造过程中回收的粗的氨，以除去杂质，如油蒸镀是不利的影响，连续提供用于净化能够供应的氮化镓系化合物半导体的制造方法的氨的装置。从含有油作为杂质，用于去除油，打褶，蜂窝状，或构象的形状机加工成形，其包括在圆筒状过滤元件的过滤膜的除油装置粗氨有油过滤管收容，并激活由充油吸附塔的碳和除油装置。此外，除了所述油去除装置，其中，所述催化剂填充有活性成分的镍的催化剂管中，合成沸石和具有填充一个吸附塔氨净化器。 .The 11

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