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1. 发明专利

JP2016196985A クリーンブース装置审中-公开
标题翻译：清洁装置
公开(公告)号：JP2016196985A
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：JP2015077343
申请日：2015-04-06
申请人：日本エアーテック株式会社 , オリオン機械株式会社
发明人：川又亨 , 白石啓一郎 , 東海林泰三 , 内村拓哉 , 片桐智美 , 和田秀之
IPC分类号： F24F7/06 , F24F3/16 , F24F13/068
摘要：【課題】空調機とファンフィルタユニットの風量とが一致しない場合でも、自由に空調機の風量を選定できるとともに、フィルタの目詰まりが進み、両者の風量が不一致となっても、不具合が生じないクリーンブース装置を提供する。【解決手段】ファンフィルタユニット5が、吸込ダクト8によって吸い込まれたクリーンブース2内の空気の一部と、空調機3から供給される空気とを併せてファン9によってフィルタ10を通してクリーンブース2内に吹き出すので、空調機3とファンフィルタユニット5の風量とが一致していない場合でも、ファンフィルタユニット5の風量に合わせてクリーンブース2内に空気を吹き出すことができる。したがって、自由に空調機3の風量を選定できるとともに、フィルタ10の目詰まりが進んでも、両者は相互に干渉せず、不具合が生じない。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：即使在空调器和风扇过滤器单元的空气量彼此不匹配时，即使堵塞也能够防止故障发生，能够自由选择空调机的空气量的清洁的展位装置的过滤器加速，并且两者的空气量彼此不匹配。解决方案：由于风扇过滤器单元5将部分空气供给到由吸气管8吸入的干净的车间2中，并且从空调3供应的空气进入洁净室2通过风扇9通过过滤器10，即使空调3和风扇过滤器单元5的空气量彼此不匹配，空气可以根据风扇的空气量被送入清洁间2 过滤器单元5.因此，可以自由地选择空调3的空气量，即使当过滤器10的堵塞加速时，两者也不会相互干扰，不会发生故障。图1

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