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    • 2. 发明专利
    • 金属製研磨パッドおよびその製造方法
    • 金属研磨垫及其制造的方法
    • JPWO2015008572A1
    • 2017-03-02
    • JP2015527226
    • 2014-06-18
    • 国立大学法人 名古屋工業大学新東工業株式会社
    • 修 江龍英二 山口
    • H01L21/304
    • B24B37/24B22F3/11B24D18/0009C22C47/14H01L21/02024
    • 被加工面における触媒と接触または極近接する領域を増大できる金属製研磨パッドを提供する。被加工物(6)の被加工面(6a)を触媒支援型の化学加工方法で平滑化加工するための金属製研磨パッド(2)を、遷移金属触媒からなる金属繊維の圧縮成型体で構成する。この圧縮成型体は、金属繊維から構成されており、空隙を有しているので、研磨パッド表面(2a)に存在する金属繊維は弾性変形が可能である。このため、研磨パッド表面(2a)と被加工物(6)の被加工面(6a)とが押し合わされると、被加工面(6a)に存在する微細な凹凸に対応して、金属繊維が変形することで、研磨パッド表面(2a)と被加工面(6a)との間に生じる隙間を小さくできる。これにより、被加工面(6a)における触媒と接触もしくは極近接する領域を増大させることができる。
    • 提供金属抛光垫,其可与接触或接近在工作表面上的催化剂增加的区域。 对于所述工作表面(6A)的金属抛光垫加工的平滑化通过催化剂辅助的工件的化学加工方法(6)(2),由金属纤维包含过渡金属催化剂的压缩成形体构成 到。 压缩成型体是由金属纤维,因为它们具有空隙,存在于抛光垫表面(2a)中它是可弹性变形的上金属纤维。 因此,当压在一起,所述工件的所述处理过的表面(6a)和抛光垫表面(2a)的(6),对应于本处理过的表面上的微细的凹凸(图6a),金属纤维 通过变形,可以在抛光垫表面和(2a)和经处理的表面(6A)之间产生间隙减小。 因此,能够增加在接触或接近,在经处理的表面(6a)中的催化剂的区域。