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    • 3. 发明专利
    • SiC単結晶の製造方法
    • SiC单晶的制造方法
    • JP2016150882A
    • 2016-08-22
    • JP2015029986
    • 2015-02-18
    • トヨタ自動車株式会社新日鐵住金株式会社
    • 大黒 寛典楠 一彦亀井 一人関 和明岸田 豊
    • C30B19/08C30B29/36
    • 【課題】溶液法において、結晶成長面に向かうSi−C溶液の、従来よりも高い上昇流速を得ることができるSiC単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】坩堝10内に入れられ、内部から液面に向けて温度低下する温度勾配を有するSi−C溶液24に、種結晶基板を接触させてSiC単結晶を結晶成長させる、SiC単結晶の製造方法であって、坩堝10の底部内壁からの鉛直方向上方の高さxの位置における、坩堝10の内径位置を基準として内側方向且つ水平方向の底側面部の厚みyが、高さxに対して、xの5次式で表される2つの計算式で算出される値を満たす形状を有し、坩堝10内に入れるSi−C溶液24の深さを30mm以上とし、坩堝10の周囲に配置された高周波コイルで、Si−C溶液24を加熱及び電磁撹拌することを含む、SiC単結晶の製造方法。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:为了提供SiC单晶的制造方法,该方法能够比溶液法中的常规方法获得朝向晶体生长面的SiC溶液的向上流速更高的方法。解决方案:制造方法 的SiC单晶通过使晶种基板与坩埚10中的Si-C溶液24接触而生长SiC单晶的晶体,Si-C溶液具有温度从内部向液体降低的温度梯度 表面。 坩埚10具有满足y值的形状,其由x的五次方程表示的两个方程式计算出,其中x是来自坩埚10的底部内壁的垂直方向的高度,y是底部侧的部分的厚度 在高度x的位置处的内部方向和水平方向,高度x的位置是坩埚10的内径位置的参考。放置在坩埚10中的Si-C溶液24的深度为30 mm以上,并且Si-C溶液24被布置在坩埚10周围的高频线圈加热并电磁搅拌。图3
    • 4. 发明专利
    • SiC単結晶の製造方法
    • 一种制造SiC单晶的方法
    • JP2016216287A
    • 2016-12-22
    • JP2015101400
    • 2015-05-18
    • トヨタ自動車株式会社新日鐵住金株式会社
    • 大黒 寛典亀井 一人楠 一彦関 和明岸田 豊
    • C30B29/36
    • C30B29/36C30B9/06
    • 【課題】雑晶の発生を抑制することができる溶液法によるSiC単結晶の製造方法の提供。 【解決手段】内部から液面に向けて温度低下する温度勾配を有するSi−C溶液24に、種結晶基板14を接触させてSiC単結晶を結晶成長させる、SiC単結晶の製造方法であって、坩堝10は、Si−C溶液24の液面と同じ高さにおける坩堝10の水平方向の厚みLu及び坩堝10の底部内壁と同じ高さにおける坩堝の水平方向の厚みLdを有し、Ld/Luが2.00〜4.21であり、厚みLu及び厚みLdの間で、坩堝の水平方向の厚みが単調増加し、坩堝の肉厚は1mm以上であり、坩堝の底部3の鉛直方向の厚みLbは1〜15mmであり、平坦部の面積が100mm 2 以上であり、Si−C溶液24の坩堝10の底部内壁からの深さを30mm以上とし、坩堝10の周囲に配置された高周波コイル22で、Si−C溶液24を加熱及び電磁撹拌するSiC単結晶の製造方法。 【選択図】図9
    • 为了提供通过溶液方法,其可以抑制杂晶的产生SiC单晶的制造方法。 从具有温度梯度降低温度朝向液体表面SiC溶液24内部的,由晶种基板14,对SiC单晶的制造方法接触SiC单晶的结晶生长 中,坩埚10具有相同的高度的厚度路和坩埚10底部的内壁的高度相同的坩埚的厚度LD,LD /的水平方向的液面在坩埚10的水平方向上的Si-C溶液24 路是从2.00到4.21,厚度Lu和Ld的厚度之间,单调增加坩埚的水平厚度,坩埚的壁厚为1mm以上,垂直厚度LB的坩埚1的底3 一〜15mm的,与平坦部的面积为100平方毫米以上,从上方30mm时,高频线圈22设置成围绕坩埚10,SI-24和溶液的坩埚10的内壁的Si-C底部深度 被加热和电磁搅拌溶液C 24的用于制造SiC单晶的方法。 9系统技术领域
    • 5. 发明专利
    • 溶液成長法によるSiC単結晶の製造装置及びSiC単結晶の製造方法
    • 使用溶液生长技术和硅碳化硅单晶制造方法的硅碳化物单晶制造装置
    • JP2016079070A
    • 2016-05-16
    • JP2014213235
    • 2014-10-17
    • 新日鐵住金株式会社トヨタ自動車株式会社
    • 亀井 一人楠 一彦岸田 豊大黒 寛典土井 雅喜
    • C30B19/06C30B29/36
    • 【課題】ウイスカーの発生を抑制できる溶液成長法によるSiC単結晶の製造装置及び製造方法の提供。 【解決手段】断熱容器と、加熱装置と、シードシャフト6とを備え、断熱容器は、Si−C溶液7を含む坩堝を収納可能な筐体状であって、断熱容器の上蓋部41に貫通孔41Aを有し、シードシャフト6は貫通孔41Aを通り、下端にSiC種結晶8を取り付け可能となっており、シードシャフト6のうち、貫通孔41Aの内周面と対向する領域に断熱材10を配置した溶液成長法によるSiC単結晶の製造装置。貫通孔41Aとシードシャフト6との間の隙間を、断熱材10により保温できるため、この隙間において、ウイスカーの発生を抑制することができ、また、断熱材10はSi−C溶液の蒸発成分により劣化しやすく、劣化した断熱材のSi−C溶液7への落下を防止するため、断熱材10はシードシャフト6の下部には配置されないSiC単結晶の製造装置。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种使用溶液生长技术的SiC单晶制造装置和能够抑制晶须生成的SiC单晶制造方法。解决方案:使用溶液生长技术的SiC单晶制造装置包括: 绝缘容器; 加热单元 和种子轴6.绝缘容器形成为能够在其中存储具有SiC溶液7的坩埚的盒,并且具有设置有通孔41A的顶盖部41。 种子轴6穿过通孔41A,并且允许SiC单晶8附接到其下边缘。 布置在种子轴6的与通孔41A的内周相反的区域中的绝缘材料10可以隔离通孔41A和种子轴6之间的间隙,从而抑制其中的晶须的产生。 绝缘材料10容易被SiC溶液的蒸发成分劣化。 为了防止劣化的绝缘材料落入SiC溶液7中,绝缘材料10不被施加到种子轴6的下部。选择的图示:图2