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    • 10. 发明专利
    • ガスセンサデバイス部品、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム
    • 气体传感器装置的部件,气体传感器装置及其制造方法,信息处理系统
    • JP2016217757A
    • 2016-12-22
    • JP2015099750
    • 2015-05-15
    • 富士通株式会社
    • 柄澤 一明百瀬 悟壷井 修
    • G01N27/12
    • 【課題】ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜が劣化しない構造を提供する。 【解決手段】ガスセンサデバイス部品1を、感応膜3と、感応膜の一方の側の面の少なくとも一部を覆い、ガスを検知する際に剥離可能な支持基板4と、感応膜の保護部材が設けられている側の反対側の面に設けられ、感応膜を介して電気的に接続される2つの電極5、6とを備えるものとし、これを、少なくとも2つの電極パッドを備える基板上に設け、ガスを検知する際に、絶縁膜9を剥離して、感応膜の一方の側の面を露出させて、ガスセンサデバイスとして用いる。 【選択図】図1
    • 提供一种结构敏感膜不提供给所述气体传感器劣化气体传感器装置。 所述的气体传感器装置部1,敏感薄膜3在检测气体至少覆盖敏感膜的一侧的表面的一部分,和可释放的载体基板4,敏感膜的保护部件 设置在设置侧的相反侧应包括两个电极5和6通过一个感应膜,被电连接,其包括至少两个电极板的基板上 提供,在检测气体,和剥离绝缘膜9,对敏感膜的一侧的表面露出,它被用作一个气体传感器装置。 点域1