专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2016101655A 保持具及びその製造方法审中-公开
标题翻译：夹具及其制造方法
公开(公告)号：JP2016101655A
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2015222225
申请日：2015-11-12
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：糸山光紀 , 鈴木基文 , 佐藤孝太
IPC分类号： H01L21/304 , B24B41/06 , B24B37/30
摘要：【課題】難加工材料を研磨した場合であっても研磨レートを高く維持することができ、また、得られる研磨物に研磨傷が生じにくい保持具及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】被研磨物を保持する保持部111と、該保持部により保持された前記被研磨物Wを囲む枠部112とを有する保持具において、前記保持部と前記枠部は境目のない連続した一体の弾性樹脂発泡体110からなり、前記保持部の圧縮変形量が、3.0〜15μmである、保持具100。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供即使在研磨难加工材料时也能保持高抛光速率的夹持夹具，并且几乎不引起所得抛光对象物中的抛光缺陷，并提供其制造方法。保持夹具100包括：用于保持被抛光物体的保持部111; 以及用于围绕由保持部保持的待抛光对象物W的框架部112。保持部和框架部分包括连续集成的无缝弹性树脂泡沫110，并且保持部具有3.0μm至15μm的压缩变形率。选择图：图1

2. 发明专利

JP6439963B2 保持具及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6439963B2
公开(公告)日：2018-12-19
申请号：JP2014169286
申请日：2014-08-22
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：兵頭栄利 , 佐藤孝太
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/30

3. 发明专利

JP2016043446A 保持具及びその製造方法审中-公开
标题翻译：其持有人及其制造方法
公开(公告)号：JP2016043446A
公开(公告)日：2016-04-04
申请号：JP2014169286
申请日：2014-08-22
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：兵頭栄利 , 佐藤孝太
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/30
CPC分类号： B24B37/30 , H01L21/304
摘要：【課題】被研磨物の縁ダレ及び被研磨物の脱落を防止しつつ、研磨パッドが傷付くのを防止し、かつ枠材の剥離をも防止することができる、研磨装置用の保持具を提供する。【解決手段】保持具13は、内部に多数の気泡19を有し、発泡ポリウレタン製の保持パッド15と、この保持パッド15の保持面の周縁に沿って、当該保持面を囲む環状の枠材17と、を備え、保持パッド15は、保持面の周縁を所定の深さだけ切削して形成された段部21を備え、枠材17は、段部21の水平面上において保持パッド15に接着され、内周面が、段部21の垂直面に対向するように、保持パッド15に固定されている。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于抛光装置的保持器，其能够防止抛光垫的损坏和框架材料的剥离，同时防止抛光物体的边缘下垂和抛光物体的下落。解决方案：保持器13包括：由发泡聚氨酯制成并具有许多气泡19的保持垫15和围绕保持垫15的保持表面的周缘的保持表面的环形框架材料17，保持垫15包括通过切割形成的台阶部21 保持表面的周边边缘预定深度，框架材料17在台阶部分21的水平表面上接合到保持垫15，并且内周表面固定到保持垫15以面对垂直表面的阶梯部分21.SELECTED DRAWING：图2

4. 发明专利

JP2019155578A 保持具及びその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019155578A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2018049497
申请日：2018-03-16
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：鈴木基文 , 佐藤孝太
IPC分类号： B24B37/30 , H01L21/304 , B24B37/32
摘要：【課題】研磨加工後の被研磨物表面に発生するスクラッチを抑制することができる保持具及びその製造方法を提供すること。【解決手段】保持シートと、研磨加工時に被研磨物が保持シートから飛び出るのを防止するために前記保持シート上に固定されている枠材とを含む、研磨加工時に被研磨物を保持するための保持具であって、前記枠材は樹脂及び1種以上の繊維を含み、前記枠材の研磨パッドと対向する面には繊維が露出しており、前記研磨パッドと対向する面に露出した繊維の伸度が10%以上である、前記保持具。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6432080B2 保持具及びその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP6432080B2
公开(公告)日：2018-12-05
申请号：JP2014199669
申请日：2014-09-30
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：兵頭栄利 , 古賀良 , 佐藤孝太
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/30

6. 发明专利

JP2017177314A 吸着フィルムおよび研磨パッド审中-公开
公开(公告)号：JP2017177314A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016072518
申请日：2016-03-31
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：佐藤孝太
IPC分类号： B24B37/11 , H01L21/304 , B24B37/30
摘要：【課題】研磨時の応力に対する沈みこみ量を低減させつつも、適切に保持することが可能な吸着フィルムおよび当該吸着フィルムを備えた研磨パッドを提供する。【解決手段】吸着フィルムFは、表面に微多孔を有するスキン層S 2 と、内部に前記スキン層S 2 の微多孔よりも大きな気泡を有する微発泡層S 1 とが形成された軟質プラスチックシートによって構成されている。そして前記吸着フィルムFは、厚さが50〜200μm、前記吸着フィルムに使用する樹脂の100%モジュラスが20〜50MPaとなっている。【選択図】図2

7. 发明专利

JP2016068189A 保持具及びその製造方法审中-公开
标题翻译：夹具及其制造方法
公开(公告)号：JP2016068189A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：JP2014199669
申请日：2014-09-30
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：兵頭栄利 , 古賀良 , 佐藤孝太
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/30
摘要：【課題】保持パッドと枠材とを一体保持する基材と、保持パッドとの間に空気が入り込むことを防止することができる保持具、及びその製造方法を提供する。【解決手段】保持具は、保持面を有する平板状の保持パッド15を準備し、該保持面とは反対側の面に、当該面と同一形状を有し、保持パッド15よりも硬質な第一基材21を貼り付け、第一基材21が貼り付けられた保持パッド15を、環状の枠材17内に配置し、第二基材23を枠材17、及び保持パッド15に貼り付けられた第一基材21に貼り付けることにより枠材17及び保持パッド15を一体保持したことを特徴とする。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够防止空气进入一体地保持保持垫和框架材料的基材与保持垫之间的保持工具及其制造方法。保持工具的特征在于，准备具有保持面的平板保持垫15，具有与保持面相反并且比保持垫15更硬的表面的形状相同形状的第一基材21粘贴在表面上，保持垫15 第一基板材料21已经被卡住放置在环形框架材料17中，并且第二基材23粘贴到框架材料17上，并且第一基材21粘贴到保持垫15以一体地保持框架材料17和保持垫15.SELECTED图：图3

8. 发明专利

JP6696756B2 保持具及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6696756B2
公开(公告)日：2020-05-20
申请号：JP2015222225
申请日：2015-11-12
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：糸山光紀 , 鈴木基文 , 佐藤孝太
IPC分类号： H01L21/304 , B24B41/06 , B24B37/30

9. 发明专利

JP2019155577A 保持具及びその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019155577A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2018049496
申请日：2018-03-16
申请人：富士紡ホールディングス株式会社
发明人：鈴木基文 , 佐藤孝太
IPC分类号： B24B37/32 , H01L21/304 , B24B37/30
摘要：【課題】保持シートと枠材との間で剥離が生じにくい保持具及びその製造方法を提供すること。【解決手段】被研磨物の研磨される面とは反対側の面を保持する保持シートと、前記保持シート上に固定されており且つ研磨加工時に被研磨物の側部を保持する枠材と、前記枠材を前記保持シート上に固定するための接着剤とを含む、被研磨物の研磨加工時に被研磨物を保持するための保持具であって、前記枠材は樹脂及び1種以上の繊維を含み、前記接着剤を介して前記保持シートと接している枠材表面には、樹脂及び繊維が存在しており、前記枠材表面に存在する繊維と、前記枠材表面に存在する樹脂と、前記接着剤との間の溶解度パラメータの差が10以内である、前記保持具。【選択図】図1

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式