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1. 发明专利

JPWO2014184910A1 プラズマ処理装置审中-公开
标题翻译：的等离子体处理装置
公开(公告)号：JPWO2014184910A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015516823
申请日：2013-05-15
申请人：富士機械製造株式会社
发明人：陽大丹羽 , 智弘渡邊 , 一明森
IPC分类号： H05H1/26 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/3065 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32522 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L21/6776
摘要：プラズマ処理に先立って被処理物の被処理面の加熱を行うプラズマ処理装置の実用性を向上させる。独立開口型処理ガス生成・噴出装置12の処理ガス生成装置70においてプラズマ内に生成された反応種を含む処理ガスを生成し、独立開口型噴出装置72から下方へ噴出する。被処理物搬送方向において処理ガス生成・噴出装置12の上流側に加熱空気生成・噴出装置16のヒータ150を、処理ガス噴出口と加熱空気噴出口との中心間距離より、被処理物の被処理面の処理ガスと加熱空気との各到達領域の中心間距離間が小さくなる向きに傾斜させて設ける。被処理面を処理ガスの噴付けに先立って加熱空気の噴出により加熱する。ヒータ150の傾斜により被処理面の処理ガスと加熱空気との各到達領域の中心間距離が短く、加熱から処理ガス噴付けまでの被処理面の温度低下が抑制され、簡易な装置構成で加熱による処理向上効果が有効に得られる。
摘要翻译：在此之前的等离子体处理，提高等离子体处理装置的效用为工件的加工面的热量。在该处理气体发生器70独立选通过程的气体发生和注入单元12生成包含在等离子体中产生的反应性物种的处理气体，从独立的门控喷射机构72向下喷出。加热器的上游侧的150中的处理对象物搬送方向进行加热的过程中气体的产生和喷射装置12的空气发生和喷射装置16中，除处理气体喷射口和所述加热空气喷射口之间的中心到中心的距离，物体的要设置在处理用面和加热的空气的处理气体的到达区域的中心间距离为倾斜的以减小方向。通过与处理气体，以在注射之前喷射加热的空气中加热到被处理表面上。被加热的空气和工艺气体处理的表面的各自的到达区域的中心之间的距离是短由于加热器150的倾斜，经处理的表面，以处理气体注入与加热的温度下降被抑制，加热以简单的装置结构在有效地获得提高的治疗效果。

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