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    • 3. 发明专利
    • 欠陥検出装置、処理装置、および欠陥検出方法
    • 缺陷检测器,处理装置和缺陷检测方法
    • JP2015161593A
    • 2015-09-07
    • JP2014037088
    • 2014-02-27
    • 太陽誘電株式会社
    • 松田 勲小山 勝弘
    • G01N21/958
    • 【課題】使用する光学部品点数を少なくして簡易な構成により対象物の欠陥を検出することができる欠陥検出装置、処理装置、および欠陥検出方法を提供すること。 【解決手段】欠陥検出装置100は、光源11と、対象物Pを支持する支持部12と、受光部13と、処理部20とを備える。処理部20において、微分回路21は、受光部13からの信号を微分し、バンドパスフィルタ22は、微分回路21からの信号のうち特定の周波数帯域の信号を通過させる。その結果、欠陥成分の信号を抽出することができる。これにより、使用する光学部品点数を減らして簡易な構成で対象物の欠陥を検出することができる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够以所使用的光学部件的数量减少的简单结构检测物体中的缺陷的缺陷检测器,处理装置和缺陷检测方法。解决方案:缺陷检测器100包括: 光源11,用于支撑物体P的支撑部12,光接收部13和处理单元20.处理单元20包括:差分电路21,其对来自光接收部13的信号进行微分; 以及在来自差分电路21的信号之间通过指定频带中的信号的带通滤波器22.结果,可以提取具有缺陷分量的信号。 因此,能够以减少使用的光学部件的数量的简单结构来检测物体的缺陷。
    • 10. 发明专利
    • 変位計測装置、信号処理装置および信号処理方法
    • 位移测量装置,信号处理装置和信号处理方法
    • JP2016038228A
    • 2016-03-22
    • JP2014160029
    • 2014-08-06
    • 太陽誘電株式会社
    • 松田 勲小山 勝弘萩原 康仁浜本 貴樹宮澤 冬樹
    • G01D5/244
    • 【課題】できるだけ正確な信号を生成して計測精度を高めることができる変位計測装置、これに使用される信号処理装置および信号処理方法を提供すること。 【解決手段】変位計測装置100は、エンコーダ部10および信号処理装置30を備える。信号処理装置30は、AD変換部31、規格化部33、逆三角関数演算部35、変化量演算部37、および変位演算部39を備える。エンコーダ部10で生成された正弦波信号を規格化部33で規格化することにより、信号の振幅値に関する演算を単純化することができる。また、逆三角関数演算部35の逆三角関数演算によりリニアな領域を含む三角波信号が得られる。変化量演算部37は、そのリニアな領域の信号の所定時間ごとの変化量を演算することにより、変位計測装置100は、正確な信号を生成して高精度な計測を行うことができる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够产生尽可能精确的信号并提高测量精度的位移测量装置,以及在其中使用的信号处理装置和信号处理方法。解决方案:位移测量装置100包括编码器 单元10和信号处理装置30.信号处理装置30设置有AD转换单元31,标准化单元33,反三角函数计算单元35,变化量计算单元37和位移计算单元39。 由编码器单元10生成的正弦信号由标准化单元33标准化,从而能够简化与信号的振幅值有关的计算。 此外,通过反三角函数计算单元35的逆三角函数计算,可以获得包括线性区域的三角波信号。由于变化量计算单元37计算每个规定时间的变化量, 线性区域,位移测量装置100可以产生精确的信号并执行高精度测量。选择图:图1