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1. 发明专利

JPWO2019043866A1 成膜マスクの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019043866A1
公开(公告)日：2019-11-07
申请号：JP2017031346
申请日：2017-08-31
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：岸本克彦 , 崎尾進
IPC分类号： C23C14/04
摘要：マスク基材に開口部を形成する工程は、少なくとも(n/2)番目の列または{(n+1)/2}番目の列を含む、a本の連続した列の開口部を含む第1領域(R1)内の開口部を形成する工程Aと、sa本の連続した列を含む第1間隙領域(RS1)を介して、第1領域(R1)と−x方向に隣接し、b本の連続した列の開口部を含む第2領域(R2)内の開口部を形成する工程Bと、sb本の連続した列を含む第2間隙領域(RS2)を介して、第1領域(R1)とx方向に隣接し、c本の連続した列の開口部を含む第3領域(R3)内の開口部を形成する工程Cとを含み、工程Aの後に、工程Bおよび工程Cを行う。

2. 发明专利

JP2019112713A 蒸着マスク、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019112713A
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：JP2018179308
申请日：2018-09-25
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：岸本克彦 , 崎尾進
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/04
摘要：【課題】線膨張係数が小さく、しかも比重が小さい材料で剛性を有する材料を用いることで、軽量で、かつ、熱容量の小さいフレームを用いた蒸着マスク及びその蒸着マスクを用いた蒸着方法を提供する。【解決手段】開口パターンが形成されたマスク本体10と、前記マスク本体10の周縁部の少なくとも一部が接合されて前記マスク本体10を一定の状態に保持するフレーム15と、を有し、前記フレーム15が、炭化ケイ素を強化繊維とした炭素繊維強化プラスチックによって形成された空隙を内包する柱状のコア部151と、前記柱状のコア部151の前記空隙の露出する面を含む側面の周囲を被覆し、かつ、前記コア部に貼り付けられた炭素繊維強化プラスチック又は金属板からなる面板152とでサンドイッチ構造体に形成されている、蒸着マスク1。【選択図】図1B

3. 发明专利

JPWO2018142464A1 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018142464A1
公开(公告)日：2019-02-14
申请号：JP2017003409
申请日：2017-01-31
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：西田光志 , 崎尾進 , 岸本克彦
IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/04
摘要：樹脂層(10)と、樹脂層(10)上に形成された磁性金属体(20)とを備えた蒸着マスク(100)の製造方法であって、(A)少なくとも1つの第1開口部(25)を有する磁性金属体(20)を用意する工程と、(B)基板(60)を用意する工程と、(C)基板(60)の表面に樹脂材料を含む溶液または樹脂材料のワニスを付与した後、熱処理を行うことによって樹脂層(10)を形成する工程と、(D)基板(60)に形成された樹脂層(10)を、磁性金属体(20)上に、少なくとも1つの第1開口部(25)を覆うように固定する工程と、(E)樹脂層(10)のうち磁性金属体(20)の少なくとも1つの第1開口部(25)内に位置する領域に、複数の第2開口部(13)を形成する工程と、(F)工程(E)の後、樹脂層(10)から基板(60)を剥離する工程とを包含する。

4. 发明专利

JP6302150B1 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6302150B1
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：JP2017567504
申请日：2017-08-21
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：岸本克彦 , 崎尾進
IPC分类号： H01L27/32 , H05B33/10 , C23C14/50
摘要：被蒸着基板と蒸着マスクとの位置合せ時には磁界の影響を受け難くしながら、蒸着時には蒸着マスクを強く吸引して被蒸着基板と蒸着マスクとを近接させるマグネットチャックを用いることで、マグネットチャックによる発熱を防止し得る蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法が提供される。この蒸着装置では、マグネットチャック(3)が永久磁石(3A)と電磁石(3B)とを備えている。

5. 发明专利

JP6301044B1 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6301044B1
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：JP2017566165
申请日：2017-08-21
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：崎尾進 , 岸本克彦
IPC分类号： H01L27/32 , H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/50
摘要：実施形態により開示される蒸着装置は、真空チャンバー(8)と、その内部に配置される蒸着マスク1を保持するマスクホルダー(15)と、保持される蒸着マスク(1)と接するように被蒸着基板(2)を保持する基板ホルダー(29)と、被蒸着基板(2)の蒸着マスク1と反対面の上方に配置される電磁石(3)と、蒸着材料を気化又は昇華させる蒸着源5と、少なくとも吸熱部(71)が電磁石(3)に接触し、放熱部(72)が真空チャンバー(8)の外部に導出されるヒートパイプ(7)と、を有している。そのヒートパイプ(7)と電磁石(3)との接触部が、コイル(32)の内周の断面積以上の面積で密着している。電磁石の温度上昇が抑制され、精度の良い蒸着パターンが得られる。

6. 发明专利

JPWO2020202441A1 成膜マスクの製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2020202441A1
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2019014508
申请日：2019-04-01
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：崎尾進 , 岸本克彦
IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/04
摘要：フレームに架張された状態で固定されたマスク基材のアクティブ領域形成部にマトリクス状に配列された複数の開口部を有する成膜マスクを製造する方法は、xy面を規定するようにフレームに所定の条件で架張された状態で固定された、初期状態のマスク基材を用意する工程Aと、複数の開口部のそれぞれの、xy面における位置を特定する目標座標データを用意する工程Bと、複数の開口部のそれぞれについて、開口部を形成することによって生じる目標座標データからの変位量を予測し、変位量を小さくする補正データを生成する工程Cと、複数の開口部のそれぞれを、目標座標データと補正データとに基づいて特定される位置に形成する工程Dとを包含し、工程Cにおいて、複数の開口部のそれぞれについての補正データは、複数の開口部を形成する順序に関連付けられており、かつ、工程Dにおいて、複数の開口部は、順序に従って形成される。

7. 发明专利

JP6801130B1 微細パターンを有する樹脂フィルムの製造方法及び有機EL表示装置の製造方法並びに微細パターン形成用基材フィルム、及びサポート部材付き樹脂フィルム有权
公开(公告)号：JP6801130B1
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：JP2019570172
申请日：2019-03-27
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：岸本克彦 , 崎尾進
IPC分类号： C23C14/24 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/10 , G09F9/30 , G09F9/00 , C23C14/04
摘要：平板状のサポート部材(2)の第1面に金属膜(3)を形成し、金属膜(3)のサポート部材(2)の表面に樹脂硬化膜を形成する。樹脂硬化膜に微細加工用のレーザ光を照射し、所望の微細パターン(13)を形成することによって微細パターンを有する樹脂フィルム(1)とする。その後、サポート部材(2)の第1面と反対面である第2面に向けて微細加工用のレーザ光とは異なる波長の紫外光を照射し、樹脂フィルム(1)をサポート部材(2)から剥離する。

8. 发明专利

JP6754474B2 成膜装置、蒸着膜の成膜方法および有機EL表示装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6754474B2
公开(公告)日：2020-09-09
申请号：JP2019117896
申请日：2019-06-25
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：尾方秀謙 , 崎尾進 , 岸本克彦
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10 , H01L27/32 , H05B33/26 , C23C14/24

9. 发明专利

JPWO2020031302A1 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、および有機半導体素子の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020031302A1
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2018029811
申请日：2018-08-08
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：崎尾進 , 岸本克彦
IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/04
摘要：蒸着マスク(100)は、少なくとも1つの第1開口部(25)を含む磁性金属体(20)と、磁性金属体(20)上に少なくとも1つの第1開口部(25)を覆うように配置され、かつ、少なくとも1つの第1開口部(25)内に位置する複数の第2開口部(13)を有する積層体(30)とを備え、積層体(30)は、第1層(m1)と、第1層(m1)と磁性金属体(20)との間に配置された第2層(m2)とを含み、少なくとも1つの第1開口部(25)内において、室温以上の第1の温度における、第1層の弾性率E1、第1層の厚さa1、第1層が有する内部応力σ1、第2層の弾性率E2、第2層の厚さa2、第2層が有する内部応力σ2(ただし、σ1、σ2は引張応力のときに正)は、下記式(1)、(2) σ1/E1−σ2/E2 0
を満足する。

10. 发明专利

JP6514381B2 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6514381B2
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：JP2018033285
申请日：2018-02-27
申请人：堺ディスプレイプロダクト株式会社
发明人：崎尾進 , 岸本克彦
IPC分类号： C23C14/04 , H01L27/32 , H05B33/10 , H01L51/50 , G09F9/00 , C23C14/24

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