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1. 发明专利

JP5839804B2 半導体装置の製造方法、および半導体装置有权
标题翻译：半导体制造半导体器件的方法，以及元件
公开(公告)号：JP5839804B2
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：JP2011013066
申请日：2011-01-25
申请人：国立大学法人東北大学 , 富士電機株式会社 , 東京エレクトロン株式会社
发明人：寺本章伸 , 神林宏 , 上田博一 , 両角友一朗 , 原田豪繁 , 長谷部一秀 , 大見忠弘
IPC分类号： H01L29/78 , H01L21/338 , H01L29/778 , H01L29/812 , H01L29/786 , H01L21/316 , H01L21/31 , H01L21/336
CPC分类号： H01L21/02274 , H01L21/02164 , H01L21/02178 , H01L21/022 , H01L21/0228 , H01L21/0254 , H01L21/28264 , H01L23/564 , H01L29/2003 , H01L29/205 , H01L29/42364 , H01L29/51 , H01L29/517 , H01L29/66462 , H01L29/778 , H01L29/7787 , H01L29/513 , H01L2924/0002

2. 发明专利

JP5807949B2 超高速ウェットエッチング装置有权
标题翻译：超快湿蚀刻设备
公开(公告)号：JP5807949B2
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：JP2011107619
申请日：2011-05-12
申请人：国立大学法人東北大学
发明人：大見忠弘 , 大橋朋貢 , 吉川和博 , 吉田達朗 , 内村徹平 , 添田一喜
IPC分类号： H01L21/308 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/02019 , H01L21/30604 , H01L21/6708

3. 发明专利

JP5885904B2 半導体装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP5885904B2
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：JP2009184237
申请日：2009-08-07
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 国立大学法人東北大学
发明人：根本剛直 , 大見忠弘 , 大橋朋貢 , 後藤哲也
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/522 , H01L21/3205
CPC分类号： H01L21/31612 , H01L21/02164 , H01L21/02274 , H01L21/30604 , H01L21/76898

4. 发明专利

JP2015178069A 遠心式薄膜蒸発器及び光学材料用脂環構造含有重合体の製造方法审中-公开
标题翻译：离心薄膜蒸发器及其制造用于光学材料的聚合物结构聚合物的方法
公开(公告)号：JP2015178069A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：JP2014056696
申请日：2014-03-19
申请人：国立大学法人東北大学 , 日本ゼオン株式会社
发明人：大見忠弘 , 白井泰雪 , 林昌彦 , 渡辺昇
IPC分类号： C08F6/10 , F16J15/12 , C08G61/08 , B01D1/22
摘要：【課題】従来よりも低い酸素濃度雰囲気での蒸発・濃縮を実現し得る遠心式薄膜蒸発器を提供する。【解決手段】複数の円筒部材(4d 、4e)が接合された筐体部(4)と、前記筐体部の中心に回転軸(6)をもつ放射状の撹拌翼(8)とを有し、前記撹拌翼の回転により前記筐体部の内壁に薄膜状の溶液を形成し、前記溶液からの溶媒の蒸発を行う遠心式薄膜蒸発器(2)において、フランジ接合構造部分(20)の互いに対向する2つの前記フランジ部の対向面(30a、40a)の間には、第1シール部材及び前記第1シール部材より外側に所定の間隔を空けて備えられる第2シール部材を含む複数のリング状シール部材が設けられており、前記対向面における前記第1シール部材と前記第2シール部材の間に不活性ガスを供給する第1供給経路(70、170)と、前記対向面における前記第2シール部材の外側に不活性ガスを供給する第2供給経路(80、180)と、が設けられている。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在比以前更低的氧浓度气氛中进行蒸发浓缩的离心薄膜蒸发器。解决方案：一种离心薄膜蒸发器（2），包括：壳体部分（4），其中多个圆柱形构件（4d，4e）接合; 以及在壳体部分的中心具有旋转轴（6）的径向搅拌叶片（8），并且通过搅拌叶片的旋转在壳体部分的内壁上形成薄膜状溶液，从而进行蒸发的溶剂。其特征在于，在与所述第一密封部件的外侧隔开间隔设置的第一密封部件和第二密封部件的多个环状密封部件设置在与所述第一密封部件相对的两个凸缘部的相对面（30a，40a）彼此相连的法兰接头结构部分（20），用于在相对表面上在第一密封件和第二密封件之间提供惰性气体的第一供应通道（70,170）和用于提供在相对表面上的第二密封构件的外侧上提供惰性气体。

5. 发明专利

JP5700513B2 半導体装置の製造方法および半導体装置有权
标题翻译：一种制造半导体器件的方法
公开(公告)号：JP5700513B2
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：JP2010228406
申请日：2010-10-08
申请人：国立大学法人東北大学
发明人：大見忠弘 , 谷員力
IPC分类号： H01L23/532 , H01L21/314 , C23C16/32 , H01L21/321 , H01L21/768
CPC分类号： H01L21/76826 , C23C16/22 , H01L21/0212 , H01L21/02274 , H01L21/31058 , H01L21/3212 , H01L21/76829 , H01L21/76831 , H01L21/7684 , H01L23/53238 , H01L23/53266 , H01L23/5329 , H01L23/53295 , H01L2924/0002

6. 发明专利

JP6416486B2 遠心式薄膜蒸発器及び光学材料用脂環構造含有重合体の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP6416486B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2014056696
申请日：2014-03-19
申请人：国立大学法人東北大学 , 日本ゼオン株式会社
发明人：大見忠弘 , 白井泰雪 , 林昌彦 , 渡辺昇
IPC分类号： C08F6/10 , F16J15/12 , C08G61/08 , B01D1/22

7. 发明专利

JP6155423B2 スクリュー真空ポンプ有权
公开(公告)号：JP6155423B2
公开(公告)日：2017-07-05
申请号：JP2015551261
申请日：2013-12-02
申请人：株式会社飯塚鉄工所 , 国立大学法人東北大学
发明人：飯塚肇 , 川端洋成 , 大見忠弘
IPC分类号： F04C29/02 , F04C29/04 , F04C18/16
CPC分类号： F04C18/16 , F04C25/02 , F04C29/023 , F04C2240/807 , F04C29/0021 , F04C29/04

8. 发明专利

JP5841726B2 窒化ガリウム系半導体装置の製造方法有权
标题翻译：用于制造基于氮化镓的半导体器件的方法
公开(公告)号：JP5841726B2
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：JP2011013425
申请日：2011-01-25
申请人：国立大学法人東北大学
发明人：神林宏 , 寺本章伸 , 大見忠弘
IPC分类号： H01L21/20 , H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/30604 , H01L21/02057 , H01L21/02521 , H01L21/302 , H01L21/30621 , H01L29/66462 , H01L29/66522 , H01L29/7783 , H01L29/7827 , H01L21/0237 , H01L21/02458 , H01L21/02507 , H01L21/0254 , H01L21/02664 , H01L29/2003 , H01L29/4236 , H01L29/51

9. 发明专利

JP5837733B2 水分発生用反応炉有权
公开(公告)号：JP5837733B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2009107139
申请日：2009-04-24
申请人：国立大学法人東北大学 , 株式会社フジキン
发明人：大見忠弘 , 川田幸司 , 池田信一 , 森本明弘 , 皆見幸男 , 平尾圭志 , 坂本信治 , 北野真史
IPC分类号： B01J23/42 , C01B5/00
CPC分类号： B01J23/63 , B01J12/007 , B01J37/0244 , C01B5/00 , B01J23/42 , B01J35/023 , B01J37/0225

10. 发明专利

JP5835790B2 半導体装置有权
公开(公告)号：JP5835790B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2011014366
申请日：2011-01-26
申请人：国立大学法人東北大学
发明人：大見忠弘 , 田中宏明
IPC分类号： H01L27/092 , H01L29/417 , H01L21/28 , H01L27/08 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L21/8238
CPC分类号： H01L21/823418 , H01L21/823814 , H01L21/84 , H01L27/1203

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