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    • 9. 发明专利
    • 薄膜トランジスタ
    • 薄膜晶体管
    • JP2016029719A
    • 2016-03-03
    • JP2015141323
    • 2015-07-15
    • 出光興産株式会社
    • 霍間 勇輝江端 一晃石原 悠寺井 恒太矢野 公規
    • H01L21/336H01L29/786
    • 【課題】移動度が高く、かつターンオン電圧の制御性が良好な薄膜トランジスタを提供すること。 【解決手段】本発明の薄膜トランジスタ1は、基板10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、閾値制御層40と、活性層50と、ソース電極60と、ドレイン電極70とを有し、ソース電極60とドレイン電極70の間に、閾値制御層40および少なくとも1つ以上の活性層50が電気的に接続しており、閾値制御層40および活性層50はゲート絶縁膜30に接し、ゲート絶縁膜30に対して垂直方向に隔てられた同電位に接続された共通のゲート電極20を有することを特徴とするものである。 【選択図】図1
    • 本发明的薄膜晶体管1包括:基板10,栅极电极20,栅极电极;栅极电极 绝缘膜30,阈值控制层40,有源层50,源电极60和漏电极70.阈值控制层40和至少一个有源层50电连接在源电极60和漏极 电极70.阈值控制层40和有源层50与栅极绝缘膜30接触并且使公共栅极电极20相对于栅极绝缘膜30在垂直方向上分离并且以相同的电势连接。 图:图1