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    • 6. 发明专利
    • 歪計測方法、歪計測装置、及び格子パターン
    • 失真测量方法,失真测量装置和光栅图案
    • JP2015222245A
    • 2015-12-10
    • JP2014107520
    • 2014-05-23
    • 国立大学法人広島大学株式会社計測リサーチコンサルタント
    • 高木 健岡本 卓慈宮本 則幸梅本 秀二大畑 秀之松尾 恵輔
    • G01B11/16
    • 【課題】簡易に精度良く歪を計測可能な歪計測方法等を提供する。 【解決手段】ピッチp、p+Δpの異なる2つの格子パターン2A、2Bが重なり合うようにして計測対象物に配置され、格子パターン同士の干渉によって一定の周期で発生するモアレ縞の移動量を読み取ることで歪を計測する歪計測方法であって、格子パターン2A、2Bを重ね合わせたときに生じる2つの格子パターンを構成する直線格子が重畳する重畳部分が複数連続して繰り返されるようにして各格子パターン2A、2Bが形成されているとともに、格子パターン2Bの直線格子は、それぞれの直線格子の面積を一定としつつ、左右両側に所定の割合で凹凸部が形成されている。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:提供能够简单且准确地测量失真的失真测量方法等。解决方案:在失真测量方法中,具有不同间距p和p +&Dgr; p的两个光栅图案2A和2B布置在 测量对象使得它们彼此重叠,并且通过读取通过光栅图案之间的干涉以恒定周期发生的莫尔条纹的移动量来测量失真。 光栅图案2A和2B被形成为使得当光栅图案2A和2B重叠时出现的构成两个光栅图案的线形光栅的重叠部分被连续重复多次,并且光栅图案2B的线性光栅具有凸部和 在左右两侧形成规定比例的凹部,同时保持各线性光栅的面积不变。