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    • 6. 发明专利
    • 半導体封止用熱硬化性樹脂シートの製造方法及び半導体装置の封止方法
    • JP2019186395A
    • 2019-10-24
    • JP2018075951
    • 2018-04-11
    • 信越化学工業株式会社
    • 藤井 修一堤 吉弘青木 貴之大▲崎▼ 明彦
    • H01L21/56
    • 【課題】大面積・薄型の半導体封止用熱硬化性樹脂シートを用いて半導体素子を封止する場合に、未充填や成形金型からの樹脂漏れを防止できる半導体封止用熱硬化性樹脂シートの製造方法を提供する。 【解決手段】半導体封止用熱硬化性樹脂シートの製造方法であって、(a)熱硬化性樹脂シートを所定の形状に定寸切断する工程、(b)前記工程(a)で定寸切断した樹脂シートを目標質量の100%超200%以下の質量で、所定の形状に型抜く工程、(c)前記工程(b)で型抜きした樹脂シートから該樹脂シートの質量に対して、5質量%以上20質量%以下の大片、及び0.01質量%以上5質量%未満の小片を各0個以上、かつ合計1個以上10個以下の個片を、樹脂シートの質量が前記目標質量の50%〜99%になるように個片型抜きして個片化し、樹脂シートから各個片を分離し、各個片及び個片型抜き後の樹脂シートを計量する工程、(d)前記工程(c)で前記個片型抜き後の樹脂シート質量と各個片の質量とを演算し、前記個片型抜き後の樹脂シート質量と前記各個片の質量の合計質量が前記目標質量の99質量%以上101質量%以下になるように調整する工程、を有することを特徴とする半導体封止用熱硬化性樹脂シートの製造方法。 【選択図】なし