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    • 1. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2015159329A
    • 2015-09-03
    • JP2015095736
    • 2015-05-08
    • 三菱電機株式会社
    • 楠 茂望月 浩一川上 稔
    • H01L29/78H01L21/8234H01L27/06H01L29/861H01L29/868H01L29/739H01L21/329H01L29/866H01L21/822H01L27/04
    • 【課題】抵抗値を制御することができる抵抗素子を有する半導体装置を提供する。 【解決手段】半導体装置は、半導体基板101と、絶縁膜14bと、半導体素子と、ダイオード型内蔵抵抗子4dとを有する。絶縁膜14bは半導体基板101の少なくとも一部を被覆している。半導体素子は、半導体基板101の一部からなるチャネル領域と、電極とを有する。ダイオード型内蔵抵抗素子4dは、p型高濃度多結晶シリコン層24bと、n型低濃度多結晶シリコン層23aと、n型高濃度多結晶シリコン層24aとを有している。ダイオード型内蔵ゲート抵抗4dは、スイッチング動作の中期に比して、初期および終期において高い抵抗値を有する。 【選択図】図46
    • 要解决的问题:提供一种具有能够控制电阻值的电阻元件的半导体器件。解决方案:半导体器件包括半导体衬底101,绝缘膜14b,半导体元件和二极管型内置电阻元件4d 。 绝缘膜14b覆盖半导体衬底101的至少一部分。半导体元件具有由半导体衬底101的一部分组成并具有电极的沟道区。 二极管型内置电阻元件4d具有p型高浓度多晶硅层24b,n型低浓度多晶硅层23a和n型高浓度多晶硅层24a。 与开关操作的中间阶段相比,二极管类型的内置栅极电阻4d在开关操作的初始阶段和终端阶段具有较高的电阻值。