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    • 3. 发明专利
    • 窒化チタンアルミニウム皮膜、硬質皮膜被覆工具、及びそれらの製造方法
    • 氮化钛薄膜,硬膜涂层工具及其制造方法
    • JP2016138311A
    • 2016-08-04
    • JP2015013513
    • 2015-01-27
    • 三菱日立ツール株式会社
    • 福永 有三久保田 和幸
    • B23B27/14B23C5/16C23C16/34
    • 【課題】耐摩耗性及び耐熱性に優れた窒化チタンアルミニウム皮膜、硬質皮膜被覆工具、及びそれらの製造方法の提供。 【解決手段】基体上に化学蒸着法により形成された窒化チタンアルミニウム層は、(Tix 1 Aly 1 )N[但し、x 1 及びy 1 は各々原子比でx 1 =0.05〜0.15、及びy 1 =0.95〜0.85を満たす数]で表される組成を有するhcp構造のTiAlNマトリックスに、(Tix 2 Aly 2 )N[但し、x 2 及びy 2 は各々原子比でx 2 =0.15〜0.4、及びy 2 =0.85〜0.6を満たす数)で表される組成を有するとともにhcp構造とfcc構造とが混在した繊維状TiAlN粒子が分散してなる窒化チタンアルミニウム皮膜。繊維状TiAlN粒子の平均横断面径が50nm以下であり、膜厚が1〜15μmであるチタンアルミニウム皮膜。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供耐磨性和耐热性优异的氮化钛铝膜和硬膜涂布工具及其制造方法。解决方案:通过化学气相沉积在基底上形成的氮化钛铝膜是通过 分散具有由(TixAly)N表示的组成的纤维状TiAlN颗粒[其中x和yare原子比满足x = 0.15-0.4和y = 0.85-0.6并且具有hIP结构和fcc结构在具有代表性的组成的TiAlN基体中混合在一起 由(TixAly)N [其中,x和yare原子比满足x = 0.05-0.15和y = 0.95-0.85]并具有hcp结构。 纤维状TiAlN粒子的平均截面直径为50nm以下,膜厚为1-15μm。图2: