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    • 2. 发明专利
    • 導電性組成物、導電体及びレジストパターンの形成方法
    • 导电组合物,导电体并形成抗蚀剂图案的方法
    • JP2017039927A
    • 2017-02-23
    • JP2016159542
    • 2016-08-16
    • 三菱レイヨン株式会社
    • 鵜澤 正志山嵜 明
    • C08L101/14H01B1/12C08L101/12
    • 【課題】良好な塗布性、導電性を示し、基材、及び基材に塗布されたレジスト等の積層物への影響が少ない塗膜を形成できる導電性組成物、及び導電体を提供する。 【解決手段】少なくともスルホン酸基又はカルボキシ基を有する導電性ポリマー(a)100質量部に対して、末端疎水性基を有する水溶性ポリマー(b)及び溶剤(c)を含む導電性組成物であって、前記導電性ポリマー(a)100質量部に対する前記水溶性ポリマー(b)の量が45〜80質量部である導電性組成物。基材の少なくとも1つの面上に、前記導電性組成物を塗布することにより形成される塗膜を有する導電体。化学増幅型レジストからなるレジスト層を片面上に有する基板の前記レジスト層の表面に、前記導電性組成物を塗布して帯電防止膜を形成する積層工程と、前記基板に対し、前記帯電防止膜の側から電子線をパターン状に照射する露光工程を有する、レジストパターンの形成方法。 【選択図】なし
    • 一个好的涂层性质,示出了导电性,提供一基板,及一导电性组合物的效果可形成小涂层的抗蚀剂或施加到基材等层叠体的,和一个导体。 针对导电性聚合物(a)100重量份至少一磺酸基或羧基,含有具有末端疏水性基团的水溶性聚合物(b)和溶剂(C)的导电组合物 按重量计存在,所述量为导电性组合物为45〜80重量份导电性高分子(A)的所述的水溶性聚合物为100份(b)中。 具有上导体衬底上,通过施加导电组合物形成的涂层膜的至少一侧上。 在具有化学放大构成的抗蚀剂层的基板的抗蚀剂层的表面的抗蚀剂在一侧上,通过将导电性组合物形成的抗静电膜的层叠工序中,相对于所述衬底,所述抗静电层 侧具有在从抗蚀剂图案形成方法的图案照射的电子束的曝光步骤。 系统技术领域
    • 8. 发明专利
    • レジストのパターン形成方法
    • 电阻图案形成方法
    • JP2016122028A
    • 2016-07-07
    • JP2014260094
    • 2014-12-24
    • 三菱レイヨン株式会社
    • 鵜澤 正志山嵜 明福田 紘也
    • H01L21/027C08G73/02G03F7/11
    • 【課題】 アウトガス抑制したレジストのパターン形成方法を提供する。 【解決手段】 基材と前記基材の少なくとも1面に形成されたフォトレジスト層上に、保護層を形成し、露光を行った後、現像を行うレジストパターン形成方法であって、前記保護層が下記一般式(1)で表されるモノマーユニットを有する導電性ポリマー(a)を含む、レジストパターン形成方法。 【化1】 (式(1)中、R 1 〜R 4 は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜24の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基、炭素数1〜24の直鎖若しくは分岐鎖のアルコキシ基、酸性基、ヒドロキシ基、ニトロ基、又はハロゲン原子(−F、−Cl、−Br又はI)を表す。また、R 1 〜R 4 のうちの少なくとも一つは酸性基又はその塩である。また、酸性基とは、スルホン酸基又はカルボン酸基である。) 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种其中抑制排气的抗蚀剂图案形成方法。解决方案:提供了抗蚀剂图案形成方法,其中在基材上形成保护层,形成在至少一个表面上的光致抗蚀剂层上 进行基材,曝光,然后进行显影,所述保护层含有具有由式(1)表示的单体单元的导电性聚合物(a)。 (式(1)中,R-Reach独立地表示氢原子,具有C1〜24的直链或支链的烷基,具有C1〜24的直链或支链的烷氧基,酸性基 ,羟基,硝基或卤素原子(-F,-Cl,-Br或I)中的至少一个,R-R是酸性基团或其盐中的至少一个,酸性基团是磺酸酯基或羧酸 酸组)。选择图:无
    • 9. 发明专利
    • 導電性組成物、導電体及び前記導電体が形成された積層体
    • 导电组合物,导体和包含它们的层压板
    • JP2015086247A
    • 2015-05-07
    • JP2013223631
    • 2013-10-28
    • 三菱レイヨン株式会社
    • 鵜澤 正志山嵜 明
    • H01B1/20H01B1/12H01B5/14C08K5/16C08J7/04C08L79/00
    • 【課題】高い導電性を有し、且つ、耐水性に優れた導電体を形成できる導電性組成物、導電体及び該導電体が形成された積層体の提供。 【解決手段】 酸性基を有する導電性ポリマー(A)および塩基性化合物(B)を含み、前記塩基性化合物(B)の20℃の水に対する溶解度が1%以下である、導電性組成物。また、塩基性化合物(B)が共役構造を持つ塩基性化合物(B−1)である、導電性組成物。また、酸性基を有する導電性ポリマー(A)以外の水溶性ポリマー(C)をさらに含む導電性組成物。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种导电组合物,其能够形成具有高导电性并且具有优异的耐水性的导体,并且提供导体和包含该导电体的层压体。导电组合物包含导电聚合物(A )和碱性化合物(B),其中碱性化合物(B)在20℃的水中的溶解度为1%以下。 还提供了一种导电组合物,其中碱性化合物(B)是具有共轭结构的碱性化合物(B-1)。 并且导电性组合物还含有除了具有酸性基团的导电性高分子(A)以外的水溶性聚合物(C)。