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1. 发明专利

JP6819868B2 薄膜サーミスタ及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6819868B2
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：JP2017032947
申请日：2017-02-24
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：稲場均 , 長友憲昭 , 枝松寿明 , 山口邦生 , 古賀譲二 , 松本文夫 , 関根圭佑
IPC分类号： H01C7/02 , H01C17/242 , H01C7/04

2. 发明专利

JP6769372B2 温度センサ及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6769372B2
公开(公告)日：2020-10-14
申请号：JP2017065706
申请日：2017-03-29
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：藤田利晃 , 佐古渚 , 長友憲昭
IPC分类号： H01C7/04 , G01K7/22

3. 发明专利

JP2019015648A 温度センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2019015648A
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：JP2017134442
申请日：2017-07-10
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：魚住学司 , 長友憲昭
IPC分类号： G01K7/22
摘要：【課題】電極の腐食を抑制することができる温度センサを提供すること。【解決手段】絶縁性基板2と、絶縁性基板に形成された薄膜サーミスタ部3と、薄膜サーミスタ部上に形成された陽極側電極4及び陰極側電極5とを備え、陽極側電極及び陰極側電極が、複数の櫛部4a,5aと、櫛部の基端が接続された基端接続部4b,5bと、基端接続部の端部に接続された側部延在部4c,5cと、側部延在部に接続された端子部4d,5dとを有し、薄膜サーミスタ部の外周縁が、基端接続部と側部延在部とに厚さ方向で対向して配され、陽極側電極が、少なくとも端子部を含む端子側部分7Aと、少なくとも櫛部を含む櫛部側部分7Bとに互いに非接触状態で分割され、隣接する端子側部分と櫛部側部分との間の隙間である分割線B1が、基端接続部及び側部延在部の少なくとも一方に設けられていると共に薄膜サーミスタ部に厚さ方向で対向している。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2018185154A 温度センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2018185154A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2017085081
申请日：2017-04-24
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：魚住学司 , 長友憲昭
IPC分类号： G01K7/22
摘要：【課題】耐湿性及び応答性に優れ、配線腐食を抑制可能な温度センサを提供すること。【解決手段】絶縁性基材2と、絶縁性基材の一方の面にサーミスタ材料で形成された薄膜サーミスタ部3と、薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に互いに対向して形成された一対の対向電極4からなる対向電極対5が複数互いに直列接続された直列対向電極部6と、直列対向電極部の両端の対向電極に接続されて絶縁性基材の一方の面に延在して形成されている一対のパターン配線7とを備え、一対のパターン配線に接続されていない対向電極のうち少なくとも一つが、一対のパターン配線の間でパターン配線に沿って延在して絶縁性基材の一方の面に形成されている電極延長部8を有している。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2018151227A 温度センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2018151227A
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：JP2017046972
申请日：2017-03-13
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：魚住学司 , 長友憲昭 , 中村賢蔵
IPC分类号： H01C7/04 , G01K7/22
摘要：【課題】薄膜サーミスタ部の外周縁と電極の外縁とが上下で重なる重複点でのリーク電流の発生を抑制することができる温度センサを提供すること。【解決手段】絶縁性基板2と、絶縁性基板の一方の面にサーミスタ材料で形成された薄膜サーミスタ部3と、薄膜サーミスタ部の上又は下に互いに対向して形成された一対の対向電極4とを備え、対向電極が、複数の櫛部4aと、複数の櫛部の基端が接続され複数の櫛部の並ぶ方向に延在する基端接続部4bと、基端接続部の端部に接続され櫛部に沿って延在する側部延在部4cとを有し、一対の対向電極のうち一方の基端接続部と他方の側部延在部とが互いに対向する部分であって薄膜サーミスタ部の外周縁の直上又は直下に配された部分が、側部延在部とこれに隣接する櫛部との間隔よりも広い幅に設定された幅広部h1,h2とされている。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2018091799A 温度センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2018091799A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2016237255
申请日：2016-12-07
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：魚住学司 , 田中寛 , 長友憲昭
IPC分类号： H01C1/012 , G01K7/22
摘要：【課題】曲げて使用する際でも曲げる前に対して抵抗値が変化し難い温度センサを提供すること。【解決手段】絶縁性フィルム2と、絶縁性フィルム2上の第1薄膜サーミスタ部3A及び第2薄膜サーミスタ部3Bと、第1薄膜サーミスタ部上に形成された一対の第1対向電極4Aと、第2薄膜サーミスタ部上に形成された一対の第2対向電極4Bと、第1対向電極の一方と第2対向電極の一方とに接続された一対のパターン電極5と、第1対向電極の他方と第2対向電極の他方とを接続した接続配線部6とを備え、絶縁性フィルムが、第1薄膜サーミスタ部と第2薄膜サーミスタ部との間で折れ曲がって第1薄膜サーミスタ部側の部分と第2薄膜サーミスタ部側の部分とが重なっており、第1薄膜サーミスタ部と第2薄膜サーミスタ部とが、互いに対向配置されている。【選択図】図1

7. 发明专利

JP6319566B2 サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ有权
公开(公告)号：JP6319566B2
公开(公告)日：2018-05-09
申请号：JP2014102599
申请日：2014-05-16
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：田中耕一 , 藤田利晃 , 田中寛 , 長友憲昭 , 高橋正訓
IPC分类号： H01C17/08 , H01C7/04

8. 发明专利

JP6308365B2 サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ有权
公开(公告)号：JP6308365B2
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：JP2014100661
申请日：2014-05-14
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：藤田利晃 , 田中寛 , 長友憲昭
IPC分类号： H01C17/12 , H01C7/04
CPC分类号： H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0676 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C17/12

9. 发明专利

JP6308364B2 サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ有权
公开(公告)号：JP6308364B2
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：JP2014100660
申请日：2014-05-14
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：藤田利晃 , 田中寛 , 長友憲昭
IPC分类号： H01C17/12 , G01K7/22 , G01K7/16 , H01C7/04
CPC分类号： H01C17/12 , C23C14/0641 , C30B25/06 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/042

10. 发明专利

JP2017174974A サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ审中-公开
公开(公告)号：JP2017174974A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016059451
申请日：2016-03-24
申请人：三菱マテリアル株式会社
发明人：藤田利晃 , 長友憲昭
IPC分类号： H01C7/04
摘要：【課題】フィルム等に非焼成で直接成膜することができ、高B定数が得られるサーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサを提供すること。【解決手段】サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、一般式:Mn x Si y N z (0.2≦y/(x+y)≦0.95、0.35≦z≦0.50、x+y+z=1)で示される金属窒化物及び不可避不純物からなる。このサーミスタ用金属窒化物材料の製造方法は、Mn−Si合金スパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有している。【選択図】図1

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